Системы UEFC-5700 и UEFC-4900 воплощают в себе результаты многолетней работы Temescal в изучении и моделировании процессов вакуумного осаждения. Оптимизированная коническая камера установки обеспечивает рекордную производительность и высокую эффективность производства за счет снижения потерь испаряемого материала. Сравнительные тесты при осаждении золота на 42 подложки размером 150 мм показывают снижение себестоимости процесса на 30% по сравнению с системами аналогичного класса. Высокоскоростной планетарный держатель подложек HULA обеспечивает высокую однородность осаждения без использования масок источника.
За разработку установки UF-5700 компания Temescal получила первую премию CS Industry Awards 2013 в номинации технологическая инновация.
Дополнительное оснащение систем UEFC-5700/UEFC-4900 включает:
- дополнительный криогенный насос
- до 3-х резистивных испарителей
- дополнительный электронно-лучевой испаритель
- источник питания электронно-лучевого испарителя увеличенной мощности
- ионный источник для очистки подложек
- анализатор остаточных газов (RGA)
- нагрев подложек
Технические характеристики
|
Система |
UEFC-5700 |
UEFC-4900 |
|
Рекомендованное применение системы |
Производство с высочайшей однородность осаждения на подложки 150 и 200 мм |
Производство с высочайшей однородность осаждения на подложки 150 мм |
|
Тип и размер камеры осаждения |
Коническая 57” |
Коническая 49” |
|
Диаметр камеры источников |
25.5” |
20” |
|
Изолирующий затвор между камерой источников и камерой осаждения |
есть |
есть |
|
Материал камеры и вакуумной арматуры |
304 SST |
304 SST |
|
Максимальный комплект высоковакуумного насоса камеры осаждения (скорость откачки по парам воды) |
Dual CT-400 (35000 л/сек) |
CT-500 (30000 л/сек) |
|
Высоковакуумный насос камеры источников (скорость откачки по парам воды) |
CT-10 (9000 л/сек) |
CT-10 (9000 л/сек) |
|
Сухой форвакуумный насос |
103 м3/час |
103 м3/час |
|
Время откачки до рабочего давления |
1E-06 < 10 мин |
1E-06 < 10 мин |
|
Максимальная загрузка подложек в конфигурации осаждения lift off |
42x150 мм, 21x200 мм |
25x150 мм |
|
Расстояние от испарителя до подложки |
43" |
35.5" |
|
Подложкодержатель с планетарным вращением HULA для осаждения с высокой однородностью под lift off |
есть |
|
|
Вращающийся подложкодержатель купольного типа под lift off |
опция |
|
|
Подложкодержатель с планетарным вращением для конформного запыления ступенек |
нет |
|
|
Подложкодержатель с переворотом подложки для двухстороннего осаждения |
опция |
|
|
Подложкодержатель тип VAP для осаждения под углом к потоку материала |
опция |
|
|
Максимальный установочный комплект электронно-лучевых испарителей |
2 шт. карусельных испарителей PopTop 6x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом |
|
|
Источник питания электронно-лучевых испарителей |
6, 12, или 15 кВт |
|
|
Тип источника ионов для очистки подложек |
MK II HC |
|
|
Обеспечение однородности осаждения |
без использования маски испарителя |
|
|
Стальные легкосъемные экраны камеры осаждения и камеры испарителей |
2 комплекта |
|
|
Водяное охлаждение стенок камеры осаждения |
есть |
|
|
Система переключения теплого и холодного контура камеры осаждения |
опция |
|
|
Фронтальное оптическое окно 4” |
есть |
|
|
Порт для установки RGA |
есть |
|
|
Боковые порты 10" и 12.75" для установки дополнительных компонентов |
есть |
|
|
Система управления |
Temescal Control System (TCS) с автоматическим и ручным режимом работы |
|
|
Интерфейс системы управления |
Цветной сенсорный дисплей высокого разрешения 17” |
|