Вакуумное напыление

Высококлассные установки вакуумного напыления для процессов взрывной литографии и конформного осаждения

UEFC-5700/4900

UEFC-5700/4900

Системы UEFC-5700 и UEFC-4900 воплощают в себе результаты многолетней работы Temescal в изучении и моделировании процессов вакуумного осаждения. Оптимизированная коническая камера установки обеспечивает рекордную производительность и высокую эффективность производства за счет снижения потерь испаряемого материала. Сравнительные тесты при осаждении золота на 42 подложки размером 150 мм показывают снижение себестоимости процесса на 30% по сравнению с системами аналогичного класса. Высокоскоростной планетарный держатель подложек HULA обеспечивает высокую однородность осаждения без использования масок источника.
За разработку установки UF-5700 компания Temescal получила первую премию CS Industry Awards 2013 в номинации технологическая инновация.

Дополнительное оснащение систем UEFC-5700/UEFC-4900 включает:

  • дополнительный криогенный насос
  • до 3-х резистивных испарителей
  • дополнительный электронно-лучевой испаритель
  • источник питания электронно-лучевого испарителя увеличенной мощности
  • ионный источник для очистки подложек
  • анализатор остаточных газов (RGA)
  • нагрев подложек

Технические характеристики

Система

UEFC-5700

UEFC-4900

Рекомендованное применение системы

Производство с высочайшей однородность осаждения на подложки 150 и 200 мм

Производство с высочайшей однородность осаждения на подложки 150 мм

Тип и размер камеры осаждения

Коническая 57”

Коническая 49”

Диаметр камеры источников

25.5”

20”

Изолирующий затвор между камерой источников и камерой осаждения

есть

есть

Материал камеры и вакуумной арматуры

304 SST

304 SST

Максимальный комплект высоковакуумного насоса камеры осаждения (скорость откачки по парам воды)

Dual CT-400

(35000 л/сек)

CT-500

(30000 л/сек)

Высоковакуумный насос камеры источников (скорость откачки по парам воды)

CT-10

(9000 л/сек)

CT-10

(9000 л/сек)

Сухой форвакуумный насос

103 м3/час

103 м3/час

Время откачки до рабочего давления

1E-06 < 10 мин

1E-06 < 10 мин

Максимальная загрузка подложек в конфигурации осаждения lift off

42x150 мм,

21x200 мм

25x150 мм

Расстояние от испарителя до подложки

43"

35.5"

Подложкодержатель с планетарным вращением HULA для осаждения с высокой однородностью под lift off

есть

Вращающийся подложкодержатель купольного типа под lift off

опция

Подложкодержатель с планетарным вращением для конформного запыления ступенек

нет

Подложкодержатель с переворотом подложки для двухстороннего осаждения

опция

Подложкодержатель тип VAP для осаждения под углом к потоку материала

опция

Максимальный установочный комплект электронно-лучевых испарителей

2 шт. карусельных испарителей PopTop 6x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом

Источник питания электронно-лучевых испарителей

6, 12, или 15 кВт

Тип источника ионов для очистки подложек

MK II HC

Обеспечение однородности осаждения

без использования маски испарителя

Стальные легкосъемные экраны камеры осаждения и камеры испарителей

2 комплекта

Водяное охлаждение стенок камеры осаждения

есть

Система переключения теплого и холодного контура камеры осаждения

опция

Фронтальное оптическое окно 4”

есть

Порт для установки RGA

есть

Боковые порты 10" и 12.75" для установки дополнительных компонентов

есть

Система управления

Temescal Control System (TCS) с автоматическим и ручным режимом работы

Интерфейс системы управления

Цветной сенсорный дисплей высокого разрешения 17”

Top