Системы серии FC с размерными индексами 4400-2800 спроектированы для непрерывной и эффективной работы в условиях производства. Установки отличаются размерами камеры напыления и максимальной загрузкой подложек в одном вакуумном цикле. В установке FC-4400 расстояние между источником и подложкой составляет 1066 мм, что позволяет получать максимально однородные покрытия на держателе подложек большой площади. Геометрические параметры систем выбраны исходя из многолетнего опыта численного моделирования испарения материалов и длительной экспериментальной работы в лаборатории Temescal.
Все системы предусматривают варианты установки как целиком в «чистой» зоне, так и в «серой» с выводом панели управления и загрузки в чистую комнату. Системы быстро перенастраиваются между режимами осаждения с нормальным углом падения материала (под взрывную литографию) и осаждения для конформного запыления ступенек (запыление контактных окон) путем простой замены блока держателей подложек.
Установки Temescal данной серии на протяжении десятилетий являются стандартным оборудованием для ведущих производственных компаний.
Дополнительное оснащение систем FC-4400/FC-2800 включает:
- дополнительный криогенный насос
- до 3-х резистивных испарителей
- дополнительный электронно-лучевой испаритель
- ионный источник для очистки подложек
- до 3-х газовых линий для реактивных процессов
- анализатор остаточных газов (RGA)
- нагрев подложек
Технические характеристики
|
Система |
FC-4400 |
FC-3800 |
FC-2800 |
BCD-2800 |
|
Рекомендованное применение системы |
Производство на подложках 150 и 200 мм |
Производство на подложках 100 и 150 мм |
||
|
Тип и размер камеры осаждения |
Прямоугольная 44”x44”x23.52” |
Прямоугольная 38”x38”x28” |
Прямоугольная 28”x28”x28” |
Прямоугольная 28”x28”x28” |
|
Диаметр камеры источников |
25.5” |
20” |
||
|
Изолирующий затвор между камерой источников и камерой осаждения |
есть |
есть |
есть |
нет |
|
Материал камеры и вакуумной арматуры |
304 SST |
|||
|
Максимальный комплект высоковакуумного насоса камеры осаждения (скорость откачки по парам воды) |
Dual CT-400 (35000 л/сек) |
CT-400 (17500 л/сек) |
CT-400 (17500 л/сек) |
нет |
|
Высоковакуумный насос камеры источников (скорость откачки по парам воды) |
CT-10 (9000 л/сек) |
CT-10 (9000 л/сек) |
CT-8 (4000 л/сек) |
CT-8 (4000 л/сек) |
|
Сухой форвакуумный насос |
103 м3/час |
35 м3/час или 103 м3/час |
||
|
Время откачки до рабочего давления |
1E-06 < 10 мин |
1E-06 < 10 мин |
1E-06 < 20 мин |
1E-06 < 30 мин |
|
Максимальная загрузка подложек в конфигурации осаждения lift off |
55x100 мм |
53x100 мм |
47x76 мм |
47x76 мм |
|
Расстояние от испарителя до подложки: стандарт |
38" |
34” |
34" |
34" |
|
Расстояние от испарителя до подложки: увеличенное |
42" |
38” |
42" |
42" |
|
Подложкодержатель с планетарным вращением HULA для осаждения с высокой однородностью под lift off |
опция |
|||
|
Вращающийся подложкодержатель купольного типа под lift off |
есть |
|||
|
Подложкодержатель с планетарным вращением для конформного запыления ступенек |
нет |
опция |
||
|
Подложкодержатель с переворотом подложки для двухстороннего осаждения |
опция |
|||
|
Подложкодержатель тип VAP для осаждения под углом к потоку материала |
опция |
|||
|
Максимальный установочный комплект электронно-лучевых испарителей |
2 шт. карусельных испарителей PopTop 6x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом |
Карусельный испаритель PopTop 6x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом |
Карусельный испаритель PopTop 4x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом |
Карусельный испаритель PopTop 4x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом |
|
Источник питания электронно-лучевых испарителей |
6, 12 или 15 кВт |
6 или 12 кВт |
6 или 12 кВт |
6 или 12 кВт |
|
Тип источника ионов для очистки подложек |
MK II HC |
MK II |
||
|
Обеспечение однородности осаждения |
Фиксированная маска испарителя |
|||
|
Стальные легкосъемные экраны камеры осаждения и камеры испарителей |
2 комплекта |
|||
|
Водяное охлаждение стенок камеры осаждения |
есть |
|||
|
Система переключения теплого и холодного контура камеры осаждения |
опция |
|||
|
Фронтальное оптическое окно 4” |
есть |
|||
|
Порт для установки RGA |
есть |
|||
|
Система управления |
Temescal Control System (TCS) с автоматическим и ручным режимом работы |
|||
|
Интерфейс системы управления |
Цветной сенсорный дисплей высокого разрешения 17” |
|||