Вакуумное напыление

Высококлассные установки вакуумного напыления для процессов взрывной литографии и конформного осаждения

FC-4400/2800

FC-4400/2800

Системы серии FC с размерными индексами 4400-2800 спроектированы для непрерывной и эффективной работы в условиях производства. Установки отличаются размерами камеры напыления и максимальной загрузкой подложек в одном вакуумном цикле. В установке FC-4400 расстояние между источником и подложкой составляет 1066 мм, что позволяет получать максимально однородные покрытия на держателе подложек большой площади. Геометрические параметры систем выбраны исходя из многолетнего опыта численного моделирования испарения материалов и длительной экспериментальной работы в лаборатории Temescal.
Все системы предусматривают варианты установки как целиком в «чистой» зоне, так и в «серой» с выводом панели управления и загрузки в чистую комнату. Системы быстро перенастраиваются между режимами осаждения с нормальным углом падения материала (под взрывную литографию) и осаждения для конформного запыления ступенек (запыление контактных окон) путем простой замены блока держателей подложек.
Установки Temescal данной серии на протяжении десятилетий являются стандартным оборудованием для ведущих производственных компаний.

Дополнительное оснащение систем FC-4400/FC-2800 включает:

  • дополнительный криогенный насос
  • до 3-х резистивных испарителей
  • дополнительный электронно-лучевой испаритель
  • ионный источник для очистки подложек
  • до 3-х газовых линий для реактивных процессов
  • анализатор остаточных газов (RGA)
  • нагрев подложек

Технические характеристики

Система

FC-4400

FC-3800

FC-2800

BCD-2800

Рекомендованное применение системы

Производство на подложках 150 и 200 мм

Производство на подложках 100 и 150 мм

Тип и размер камеры осаждения

Прямоугольная 44”x44”x23.52”

Прямоугольная 38”x38”x28”

Прямоугольная 28”x28”x28”

Прямоугольная 28”x28”x28”

Диаметр камеры источников

25.5”

20”

Изолирующий затвор между камерой источников и камерой осаждения

есть

есть

есть

нет

Материал камеры и вакуумной арматуры

304 SST

Максимальный комплект высоковакуумного насоса камеры осаждения (скорость откачки по парам воды)

Dual CT-400

(35000 л/сек)

CT-400

(17500 л/сек)

CT-400

(17500 л/сек)

нет

Высоковакуумный насос камеры источников (скорость откачки по парам воды)

CT-10

(9000 л/сек)

CT-10

(9000 л/сек)

CT-8

(4000 л/сек)

CT-8

(4000 л/сек)

Сухой форвакуумный насос

103 м3/час

35 м3/час или 103 м3/час

Время откачки до рабочего давления

1E-06 < 10 мин

1E-06 < 10 мин

1E-06 < 20 мин

1E-06 < 30 мин

Максимальная загрузка подложек в конфигурации осаждения lift off

55x100 мм
30x150 мм
15x200 мм

53x100 мм
25x150 мм
14x200 мм

47x76 мм
25x100 мм
12x150 мм

47x76 мм
25x100 мм
12x150 мм

Расстояние от испарителя до подложки: стандарт

38"

34”

34"

34"

Расстояние от испарителя до подложки: увеличенное

42"

38”

42"

42"

Подложкодержатель с планетарным вращением HULA для осаждения с высокой однородностью под lift off

опция

Вращающийся подложкодержатель купольного типа под lift off

есть

Подложкодержатель с планетарным вращением для конформного запыления ступенек

нет

опция

Подложкодержатель с переворотом подложки для двухстороннего осаждения

опция

Подложкодержатель тип VAP для осаждения под углом к потоку материала

опция

Максимальный установочный комплект электронно-лучевых испарителей

2 шт. карусельных испарителей PopTop 6x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом

Карусельный испаритель PopTop 6x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом

Карусельный испаритель PopTop 4x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом

Карусельный испаритель PopTop 4x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом

Источник питания электронно-лучевых испарителей

6, 12 или 15 кВт

6 или 12 кВт

6 или 12 кВт

6 или 12 кВт

Тип источника ионов для очистки подложек

MK II HC

MK II

Обеспечение однородности осаждения

Фиксированная маска испарителя

Стальные легкосъемные экраны камеры осаждения и камеры испарителей

2 комплекта

Водяное охлаждение стенок камеры осаждения

есть

Система переключения теплого и холодного контура камеры осаждения

опция

Фронтальное оптическое окно 4”

есть

Порт для установки RGA

есть

Система управления

Temescal Control System (TCS) с автоматическим и ручным режимом работы

Интерфейс системы управления

Цветной сенсорный дисплей высокого разрешения 17”

Скачать

Top