Вакуумное напыление

Высококлассные установки вакуумного напыления для процессов взрывной литографии и конформного осаждения

FC/BJD-2000

FC/BJD-2000

За счет широкого набора опций и дополнительного оборудования системы Temescal FC-2000 и BJD-2000 способны удовлетворить практически любые запросы исследовательских лабораторий и небольших производств в области вакуумного напыления.
Разработанные для эффективной работы в чистых комнатах, эти системы объединяют в себе максимальную гибкость и легкость в использовании. Внешний порт откачки, навесные панели и поворотно-откидной блок источников обеспечивают максимальное удобство в эксплуатации и обслуживании систем колпакового типа. Электропривод колпака и поворотно-откидной лоток облегчают доступ для очистки, обслуживания и замены материала источника. Оптимизированная конструкция порта откачки минимизирует возможность попадания загрязнений в модуль откачки.
Система быстро перенастраивается между режимами осаждения с нормальным углом падения материала (под взрывную литографию), осаждения для конформного запыления ступенек (запыление контактных окон) и для двухстороннего осаждения путем простой замены блока держателей подложек.
Геометрические параметры камеры напыления и держателей подложек оптимизированы путем численного моделирования облака испарения различных материалов и верифицированы многочисленными натурными экспериментами в лаборатории Temescal.
Дополнительное оснащение систем FC-2000 и BJD-2000 включает:

  • до 3-х резистивных испарителей
  • дополнительный электронно-лучевой испаритель
  • ионный источник для очистки подложек
  • до 3-х газовых линий для реактивных процессов
  • анализатор остаточных газов (RGA)
  • нагрев подложек

Технические характеристики

Система

FC-2000

BJD-2000

Рекомендованное применение системы

Исследования, пилотное производство на подложках 50-150 мм

Тип и размер камеры осаждения

Колпак 20”

Диаметр камеры источников

18”

20”

Изолирующий затвор между камерой источников и камерой осаждения

есть

нет

Материал камеры и вакуумной арматуры

304 SST

Максимальный комплект высоковакуумного насоса камеры осаждения (скорость откачки по парам воды)

CT-400 (17500 л/сек)

нет

Высоковакуумный насос камеры источников (скорость откачки по парам воды)

CT-8 (4000 л/сек)

Сухой форвакуумный насос

35 м3/час или 103 м3/час

Время откачки до рабочего давления

1E-06 < 10 мин

1E-06 < 15 мин

Максимальная загрузка подложек в конфигурации осаждения lift off

42x50 мм, 17x76 мм, 13x100 мм, 5x150 мм

Расстояние от испарителя до подложки: стандарт

19.5"

Расстояние от испарителя до подложки: увеличенное

27.5"

Подложкодержатель с планетарным вращением HULA для осаждения с высокой однородностью под lift off

нет

Вращающийся подложкодержатель купольного типа под lift off

есть

Подложкодержатель с планетарным вращением для конформного запыления ступенек

опция

Подложкодержатель с переворотом подложки для двухстороннего осаждения

опция

Подложкодержатель тип VAP для осаждения под углом к потоку материала

опция

Максимальный установочный комплект электронно-лучевых испарителей

Карусельный испаритель PopTop 4x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом

Источник питания электронно-лучевых испарителей

6 или 12 кВт

Тип источника ионов для очистки подложек

MK I

Обеспечение однородности осаждения

Фиксированная маска испарителя

Стальные легкосъемные экраны камеры осаждения и камеры испарителей

2 комплекта

Водяное охлаждение стенок камеры осаждения

есть

Система переключения теплого и холодного контура камеры осаждения

опция

Фронтальное оптическое окно 4”

есть

Порт для установки RGA

есть

Система управления

Temescal Control System (TCS) с автоматическим и ручным режимом работы

Интерфейс системы управления

Цветной сенсорный дисплей высокого разрешения 17”

Скачать

Top