Вакуумное напыление

Высококлассные установки вакуумного напыления для процессов взрывной литографии и конформного осаждения

BJD/FC 2000

BJD/FC 2000

За счет широкого набора опций и дополнительного оборудования системы Temescal FC-2000 и BJD 2000 способны удовлетворить практически любые запросы исследовательских лабораторий и небольших производств в области вакуумного напыления.
Разработанные для эффективной работы в чистых комнатах, эти системы объединяют в себе максимальную гибкость и легкость в использовании. Внешний порт откачки, навесные панели и поворотно-откидной блок источников обеспечивают максимальное удобство в эксплуатации и обслуживании систем колпакового типа. Электропривод и поворотно-откидной лоток облегчают доступ для очистки, обслуживания и замены материала источника. Оптимизированная конструкция порта откачки минимизирует возможность попадания загрязнений в модуль откачки.
Система быстро перенастраивается между режимами осаждения с нормальным углом падения материала (под взрывную литографию), осаждения для конформного запыления ступенек (запыление контактных окон) и для двухстороннего осаждения путем простой замены блока держателей подложек.

Технические характеристики

Зависимость угла падения материала на подложку от диаметра подложки и расстояния до источника при напылении под процесс взрывной литографии

Диаметр подложки, мм

50

76

100

150

Расстояние 495 мм

2.82°

4.30°

5.68°

8.59°

Расстояние 698 мм

2.00°

3.04°

4.02°

6.08°

Top