За счет широкого набора опций и дополнительного оборудования системы Temescal FC-2000 и BJD-2000 способны удовлетворить практически любые запросы исследовательских лабораторий и небольших производств в области вакуумного напыления.
Разработанные для эффективной работы в чистых комнатах, эти системы объединяют в себе максимальную гибкость и легкость в использовании. Внешний порт откачки, навесные панели и поворотно-откидной блок источников обеспечивают максимальное удобство в эксплуатации и обслуживании систем колпакового типа. Электропривод колпака и поворотно-откидной лоток облегчают доступ для очистки, обслуживания и замены материала источника. Оптимизированная конструкция порта откачки минимизирует возможность попадания загрязнений в модуль откачки.
Система быстро перенастраивается между режимами осаждения с нормальным углом падения материала (под взрывную литографию), осаждения для конформного запыления ступенек (запыление контактных окон) и для двухстороннего осаждения путем простой замены блока держателей подложек.
Геометрические параметры камеры напыления и держателей подложек оптимизированы путем численного моделирования облака испарения различных материалов и верифицированы многочисленными натурными экспериментами в лаборатории Temescal.
Дополнительное оснащение систем FC-2000 и BJD-2000 включает:
- до 3-х резистивных испарителей
- дополнительный электронно-лучевой испаритель
- ионный источник для очистки подложек
- до 3-х газовых линий для реактивных процессов
- анализатор остаточных газов (RGA)
- нагрев подложек
Технические характеристики
|
Система |
FC-2000 |
BJD-2000 |
|
Рекомендованное применение системы |
Исследования, пилотное производство на подложках 50-150 мм |
|
|
Тип и размер камеры осаждения |
Колпак 20” |
|
|
Диаметр камеры источников |
18” |
20” |
|
Изолирующий затвор между камерой источников и камерой осаждения |
есть |
нет |
|
Материал камеры и вакуумной арматуры |
304 SST |
|
|
Максимальный комплект высоковакуумного насоса камеры осаждения (скорость откачки по парам воды) |
CT-400 (17500 л/сек) |
нет |
|
Высоковакуумный насос камеры источников (скорость откачки по парам воды) |
CT-8 (4000 л/сек) |
|
|
Сухой форвакуумный насос |
35 м3/час или 103 м3/час |
|
|
Время откачки до рабочего давления |
1E-06 < 10 мин |
1E-06 < 15 мин |
|
Максимальная загрузка подложек в конфигурации осаждения lift off |
42x50 мм, 17x76 мм, 13x100 мм, 5x150 мм |
|
|
Расстояние от испарителя до подложки: стандарт |
19.5" |
|
|
Расстояние от испарителя до подложки: увеличенное |
27.5" |
|
|
Подложкодержатель с планетарным вращением HULA для осаждения с высокой однородностью под lift off |
нет |
|
|
Вращающийся подложкодержатель купольного типа под lift off |
есть |
|
|
Подложкодержатель с планетарным вращением для конформного запыления ступенек |
опция |
|
|
Подложкодержатель с переворотом подложки для двухстороннего осаждения |
опция |
|
|
Подложкодержатель тип VAP для осаждения под углом к потоку материала |
опция |
|
|
Максимальный установочный комплект электронно-лучевых испарителей |
Карусельный испаритель PopTop 4x25cc и испаритель с одним фиксированным карманом |
|
|
Источник питания электронно-лучевых испарителей |
6 или 12 кВт |
|
|
Тип источника ионов для очистки подложек |
MK I |
|
|
Обеспечение однородности осаждения |
Фиксированная маска испарителя |
|
|
Стальные легкосъемные экраны камеры осаждения и камеры испарителей |
2 комплекта |
|
|
Водяное охлаждение стенок камеры осаждения |
есть |
|
|
Система переключения теплого и холодного контура камеры осаждения |
опция |
|
|
Фронтальное оптическое окно 4” |
есть |
|
|
Порт для установки RGA |
есть |
|
|
Система управления |
Temescal Control System (TCS) с автоматическим и ручным режимом работы |
|
|
Интерфейс системы управления |
Цветной сенсорный дисплей высокого разрешения 17” |
|