Высококлассные установки вакуумного напыления для процессов взрывной литографии и конформного осаждения
Семейство установок вакуумного напыления предлагает решения для исследовательских задач, предсерийных работ и крупномасштабных производственных линий. Установки совместимы с чистыми помещениями и идеально подходят для процессов взрывной литографии или конформного осаждения на полупроводниковые структуры. Широкий список опций и аксессуаров позволяет сконфигурировать установки для удовлетворения практически любых требований Заказчика. Установки Temescal отличаются высокой надежностью и низкими эксплуатационными затратами.
Cистемы вакуумного напыления FC-2000 и BJD-2000 для исследовательских лабораторий и небольших производств
Специализированная серия систем вакуумного напыления Auratus UEFC-5700/4900 для осаждения металлов под технологию lift off