Установка ATC ORION 8 производства компании AJA International - компактная версия систем популярной серии ATC, обеспечивающая наилучшие эксплуатационные характеристики при разумной цене. В установках применяются магнетронные распылители серий Stiletto (высоковакуумное исполнение) и серии A300 (сверхвысоковакуумное исполнение) диаметром 2" или 3", размещённые в камере для конфокального осаждения под фиксированным углом к подложке. Подложкодержатели предназначены для подложек диаметром вплоть до 150 мм и включают конфигурации с охлаждением до температуры жидкого азота или с нагревом до 1000°C.
Установки могут быть оборудованы дополнительными устройствами и системами:
- источник ионов
- системы контактного маскирования
- система вакуумного отжига камеры
- устройство абсолютной калибровки скорости осаждения
- системы загрузки из кассеты
- перчаточный ящик
- анализатор остаточных газов (RGA)
- оборудование для регистрации дифракции быстрых электронов ДБЭ (RHEED)
Технические характеристики
|
Система |
ATC ORION 8 |
|
Тип и размер камеры осаждения |
цилиндрическая ø 14”, высота 15,6” |
|
Материал вакуумной камеры |
304L |
|
Стандартный комплект высоковакуумного насоса камеры осаждения (скорость откачки по парам воды) |
CT-8 (4000 л/сек) |
|
Турбомолекулярный насос камеры осаждения |
опционально ТМН 700 л/сек |
|
Предельный вакуум в камере осаждения |
10-10-10-7 торр (зависит от оснащения камеры и средств откачки) |
|
Максимальное количество устанавливаемых магнетронов 2” в конфигурации для конфокального осаждения |
8 |
|
Максимальное количество устанавливаемых магнетронов 3” в конфигурации для конфокального осаждения |
5 |
|
Максимальное количество линий подачи газа с РРГ |
4 |
|
Максимальный диаметр подложки |
6” (150 мм) |
|
Типичная однородность осаждения в конфигурации для конфокального осаждения на подложку диаметром в два раза больше чем диаметр используемого магнетрона |
+/- 2.5% |
|
Система управления
|
Phase II-J с автоматическим и ручным режимом работы |
|
Интерфейс системы управления |
компьютер в промышленном исполнении с цветным монитором 22" |