Магнетронное и вакуумное осаждение

Высоковакуумные установки реализующие весь спектр технологий вакуумного осаждения материалов

ATC ORION 8

ATC ORION 8

Установка ATC ORION 8 производства компании AJA International - компактная версия систем популярной серии ATC, обеспечивающая наилучшие эксплуатационные характеристики при разумной цене. В установках применяются магнетронные распылители серий Stiletto (высоковакуумное исполнение) и серии A300 (сверхвысоковакуумное исполнение) диаметром 2" или 3", размещённые в камере для конфокального осаждения под фиксированным углом к подложке. Подложкодержатели предназначены для подложек диаметром вплоть до 150 мм и включают конфигурации с охлаждением до температуры жидкого азота или с нагревом до 1000°C.
Установки могут быть оборудованы дополнительными устройствами и системами:

  • источник ионов
  • системы контактного маскирования
  • система вакуумного отжига камеры
  • устройство абсолютной калибровки скорости осаждения
  • системы загрузки из кассеты
  • перчаточный ящик
  • анализатор остаточных газов (RGA)
  • оборудование для регистрации дифракции быстрых электронов ДБЭ (RHEED)

Технические характеристики

Система

ATC ORION 8

Тип и размер камеры осаждения

цилиндрическая ø 14”, высота 15,6”

Материал вакуумной камеры

304L

Стандартный комплект высоковакуумного насоса камеры осаждения (скорость откачки по парам воды)

CT-8

(4000 л/сек)

Турбомолекулярный насос камеры осаждения

опционально ТМН 700 л/сек

Предельный вакуум в камере осаждения

10-10-10-7 торр (зависит от оснащения камеры и средств откачки)

Максимальное количество устанавливаемых магнетронов 2” в конфигурации для конфокального осаждения

8

Максимальное количество устанавливаемых магнетронов 3” в конфигурации для конфокального осаждения

5

Максимальное количество линий подачи газа с РРГ

4

Максимальный диаметр подложки

6” (150 мм)

Типичная однородность осаждения в конфигурации для конфокального осаждения на подложку диаметром в два раза больше чем диаметр используемого магнетрона

+/- 2.5%

Система управления

Phase II-J с автоматическим и ручным режимом работы

Интерфейс системы управления

компьютер в промышленном исполнении с цветным монитором 22"

Скачать

Top