ATC-MC-HY

Многокамерные установки осаждения серии ATC-MC-HY изготавливаются индивидуально по требованиям Заказчика. Представляют собой комбинацию нескольких камер осаждения, очистки, травления или диагностики получаемых структур. Предусматривают высоковакуумное или сверх высоковакуумное исполнение.
Комбинация стандартных компонентов и узлов AJA International позволяет осуществить практические любые пожелания Заказчика по конфигурации. Перегрузочный модуль и пространственная компоновка технологических камер выбираются исходя из требований по цепочке технологических операции и оптимизации занимаемого пространства.
Установки могут быть оборудованы широким набором устройств и систем, в том числе:

• держатели подложки с нагревом или охлаждением
• магнетроны для прямого, конфокального или бокового напыления
• электронно-лучевые и резистивные испарители
• ячейки Кнудсена
• источники ионов для очистки или травления (IBE)
• система напыления с распылением мишени ионным пучком (IBD)
• система вакуумного отжига камеры
• устройство абсолютной калибровки скорости осаждения
• системы загрузки из кассеты
• анализатор остаточных газов (RGA)
• эллипсометр FS-1
• оборудование для регистрации дифракции быстрых электронов ДБЭ (RHEED)
• оборудование Оже-анализа