Магнетронное и вакуумное осаждение

Высоковакуумные установки реализующие весь спектр технологий вакуумного осаждения материалов

ATC-MC-HY

ATC-MC-HY

Многокамерные установки осаждения серии ATC-MC-HY изготавливаются индивидуально по требованиям Заказчика. Представляют собой комбинацию нескольких камер осаждения, очистки, травления или диагностики получаемых структур. Предусматривают высоковакуумное или сверх высоковакуумное исполнение.
Комбинация стандартных компонентов и узлов AJA International позволяет осуществить практические любые пожелания Заказчика по конфигурации. Перегрузочный модуль и пространственная компоновка технологических камер выбираются исходя из требований по цепочке технологических операции и оптимизации занимаемого пространства. Установки могут быть оборудованы широким набором устройств и систем, в том числе:

  • держатели подложки с нагревом или охлаждением
  • магнетроны для прямого, конфокального или бокового напыления
  • электронно-лучевые и резистивные испарители
  • ячейки Кнудсена
  • источники ионов для очистки или травления (IBE)
  • система напыления с распылением мишени ионным пучком (IBD)
  • система вакуумного отжига камеры
  • устройство абсолютной калибровки скорости осаждения
  • системы загрузки из кассеты
  • анализатор остаточных газов (RGA)
  • эллипсометр FS-1
  • оборудование для регистрации дифракции быстрых электронов ДБЭ (RHEED)
  • оборудование Оже-анализа

Технические характеристики

Система

ATC Cluster System

Тип, количество, компоновка и размер камер осаждения

определяются по согласованию с Заказчиком

Top