Системы магнетронного осаждения ATC серии Flagship.
Высоковакуумные системы осаждения тонких плёнок серии ATC от компании AJA International предназначены для магнетронного осаждения широчайшего круга материалов. Конфигурации систем на основе стандартных компонентов AJA International позволяют построить инструмент для решения практически любой нестандартной задачи. Центральный элемент конструкции этих систем – уникальные магнетронные распылители серии A300 (сверхвысоковакуумное исполнение) или серии Stiletto (высоковакуумное исполнение) производства компании AJA International. Магнетронные источники снабжены системой поворота без вскрытия камеры что обеспечивает точное и воспроизводимое осаждение в конфокальной, прямой или внеосевой конфигурации. Возможна установка магнетронов диаметром от 1" до 12" а также треугольных и прямоугольных версий. Держатели подложек диаметром от 1" до 10" способны нагревать подложки до 1000°C или охлаждать до температуры жидкого азота. Установки данной серии отличаются между собой размерами вакуумной камеры, что определяет возможности по установке основных магнетронов и дополнительного оборудования.
Установки могут быть оборудованы дополнительными устройствами и системами:
- ячейки Кнудсена
- источники ионов
- системы контактного маскирования
- система вакуумного отжига камеры
- устройство абсолютной калибровки скорости осаждения
- системы загрузки из кассеты
- перчаточный ящик
- анализатор остаточных газов (RGA)
- эллипсометр FS-1
- оборудование для регистрации дифракции быстрых электронов ДБЭ (RHEED)
- оборудование Оже-анализа
Технические характеристики
|
Система |
ATC-1800 |
ATC-2200 |
ATC-2600 |
|
Тип и размер камеры осаждения |
цилиндрическая ø 18” |
цилиндрическая ø 22” |
цилиндрическая ø 26” |
|
Материал вакуумной камеры |
304L |
||
|
Стандартный комплект высоковакуумного насоса камеры осаждения (скорость откачки по парам воды) |
CT-8 (4000 л/сек) |
CT-8 (4000 л/сек) |
CT-8 (4000 л/сек) |
|
Турбомолекулярный насос камеры осаждения |
опционально |
опционально |
опционально |
|
Предельный вакуум в камере осаждения |
10-9-10-7 торр (зависит от оснащения камеры и средств откачки) |
10-9-10-7 торр (зависит от оснащения камеры и средств откачки) |
10-9-10-7 торр (зависит от оснащения камеры и средств откачки) |
|
Максимальное количество устанавливаемых магнетронов 2” с устройством изменения угла наклона в конфигурации для конфокального осаждения |
6 |
8 |
13 |
|
Типичная однородность осаждения в конфигурации для конфокального осаждения на подложку диаметром в два раза больше чем диаметр используемого магнетрона |
+/- 2% |
||
|
Система управления |
Phase II-J с автоматическим и ручным режимом работы |
||
|
Интерфейс системы управления |
компьютер в промышленном исполнении с цветным монитором 22" |
||