Установки Yield Engineering Systems серии YES-TA специально разработаны для процесса прайминга из газовой фазы с дополнительным процессом предварительной дегидратации поверхности. Комбинированный процесс дегидратации и прайминга известен в англоязычной литературе как vacuum bake/vapor prime. Процесс кардинально улучшает качество нанесения гексаметилдисилазана (ГМДС, HMDS) в качестве активатора адгезии и увеличивает до нескольких недель время жизни подготовленной поверхности перед нанесением фоторезиста.
Кроме ГМДС, установка может работать с другими близкими прекурсорами что существенно расширяет область применения.
Установка также выполняет процесс обращения резиста, часто используемый в технологических последовательностях взрывной литографии.
Установки серии YES-TA обеспечивают полный контроль над условиями в технологической камере и удобное, продуманное управление процессом.
Загрузка подложек в камеру может осуществляться в оригинальных стальных кассетах YES двух вариантов: облегченный вариант кассеты (low profile) или кассета полностью совместимая по размерам со стандартными пластиковыми кассетами SEMI.
Технические характеристики
|
ОСНОВНЫЕ УСТАНОВОЧНЫЕ ДАННЫЕ |
||
|
|
YES-310TA |
YES-58TA |
|---|---|---|
|
Совместимость с чистыми помещениями |
Класс 10 |
Класс 10 |
|
Максимальный размер подложек |
200 мм |
300 мм |
|
Размеры подложек и количество загружаемых стальных кассет ёмкостью 25 подложек (для процесса обращения фоторезиста обычно используется 50%-я загрузка подложек в кассету) |
100 мм – 8 кассет, 125 и 150 мм - 2 кассеты, 200 мм - 1 кассета |
100 мм - 12 кассет, 125 и 150 мм - 8 кассет, 200 и 300 мм - 2 кассеты |
|
Внутренние размеры камеры |
305 мм x 337 мм x 305 мм |
406 мм x 457 мм x 406 мм |
|
Общий размер установки |
632 мм х 502 мм х 773 мм |
735 мм х 626 мм х 883 мм |
|
Материал рабочей камеры |
нержавеющая сталь 316L, Al – экран дверцы рабочей камеры |
|
|
Вакуумная линия |
Соединение KF40. Минимальные требования: Скорость откачки в точке соединения: 15 м3/час Предельный вакуум: <0,01 торр |
|
|
Вход технологического газа |
1 шт. - N2, 1 шт. - NH3, 1 шт. - испаритель |
|
|
Расход азота (на один процесс) |
198 литр атмосферы |
453 литр атмосферы |
|
Вес системы |
158 кг |
181 кг |
|
Электропитание |
188-253 В, 50/60 Гц, 10 А |
|
|
ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ |
||
|
Система управления |
Контроллер ПЛК с сенсорным экраном |
|
|
Количество технологических последовательностей |
8 |
|
|
Диапазон устанавливаемого времени экспозиции |
0-999999 мин |
|
|
Минимальный интервал программирования шага последовательности |
1 сек |
|
|
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
||
|
Чистота процесса |
<5 частиц 1 мкм на подложку 150 мм |
|
|
Диапазон температуры нагрева |
~25 - 160°C |
|
|
Однородность температуры в зоне обработки |
± 5 °C (после стабилизации всех температурных зон установки) |
|
|
Производительность |
2 цикла/час (отжиг и ГМДС) 1 цикл/час (обращение резиста) |
|
|
СТАНДАРТНЫЕ ОПЦИИ |
||
|
Сигнализация низкого уровня ГМДС |
+ |
|
|
Протоколирование работы и мониторинг |
Компьютер и ПО YES-DAQ или связь сетью предприятия по протоколу SECS/GEM. |
|
|
Система размещения установки |
Стальной трейлер в исполнении для чистых помещений с блокирующимися колесиками |
|