Установки Yield Engineering Systems с ручной загрузкой кассет серии YES-PB-CP предназначены для термической обработки и отжига в контролируемой атмосфере. Установка обеспечивает проведение процессов имидизации полиимида, бензоциклобутана, вжигания алюминия и меди, удаление оксида меди, отжига пористых диэлектриков, а также других термических процессов в современных полупроводниковых и МЭМС технологиях.
Температурные зоны установки оптимизированы для высокой однородности температуры и высокого темпа нагрева. Быстрое охлаждение обеспечивает уникальная система охлаждения стенок камеры. ПЛК контроллер позволяет существенно оптимизировать процесс за счет создания программируемых последовательностей нагрева/охлаждения/продувки и их автоматического выполнения.
Подача газа в камеру и откачка рассчитаны на создание вертикального ламинарного потока газа вдоль обрабатываемых подложек, что практически исключает внесение микро и макрочастиц на поверхность во время обработки.
Для эффективного удержания паров растворителей в трассе откачки применена конденсационная ловушка.
Вакуумная дверь обеспечена эффективной системой охлаждения и двойными уплотнениями с продувкой азотом, что гарантирует минимальное содержание кислорода в атмосфере технологической камере.
Загрузка подложек в камеру может осуществляться в оригинальных стальных кассетах YES двух вариантов: облегченный вариант кассеты (low profile), кассета полностью совместимая по размерам со стандартными пластиковыми кассетами SEMI.
Технические характеристики
|
ОСНОВНЫЕ УСТАНОВОЧНЫЕ ДАННЫЕ |
|||
|
|
YES-PB6-2P-CP |
YES-PB8-2P-CP |
YES-PB12-2P-CP |
|
Чистота камеры |
Класс 1 |
Класс 1 |
Класс 1 |
|
Совместимость с чистыми помещениями |
Класс 10 |
Класс 10 |
Класс 10 |
|
Максимальный размер подложек |
150 мм |
200 мм |
300 мм |
|
Размеры подложек и количество загружаемых стальных кассет ёмкостью 25 подложек |
50 мм - 4 кассеты 75, 100 и 150 мм -2 кассеты |
50 мм – 9 кассет, 75 мм - 6 кассет, 100 и 150 мм - 3 кассеты, 200 мм - 2 кассеты |
50 мм - 25 кассет, 75 мм - 15 кассет, 100 и 150 мм - 10 кассет, 200 мм - 3 кассеты, 300 мм - 2 кассеты |
|
Внутренние размеры камеры |
диаметр 274 мм, глубина 558 мм |
диаметр 366 мм, глубина 665 мм |
диаметр 534 мм, глубина 1040 мм |
|
Рабочая область камеры с ламинарным потоком для размещения кассет |
162 мм х 355 мм х 185 мм |
239 мм х 459 мм х 247 мм |
375 мм х 744 мм х 360 мм |
|
Общий размер установки |
602 мм х 1136 мм х 693 мм |
690 мм х 1459 мм х 779 мм |
895 мм х 1746 мм х 1387 мм |
|
Размер блока управления |
594 мм х 960 мм х 236 мм |
||
|
Материал рабочей камеры |
нержавеющая сталь 316L |
||
|
Вакуумная линия |
Соединение KF40. Минимальные требования: Скорость откачки в точке соединения: 35 м3/час Предельный вакуум: <0,01 торр |
||
|
Вход технологического газа |
1 – стандартно до 3-х входов -опционально |
||
|
Регуляторы расхода газа |
до 3-х входов -опционально |
||
|
Расход азота |
15-25 л/мин |
||
|
Фильтр ламинарного потока |
Плоский фильтр 100 микрон MottTM |
||
|
Вес системы |
207 кг |
261 кг |
406 кг |
|
Электропитание |
380 В, 3 фазы, 40 А, 50 Гц |
380 ВА, 3 фазы, 40 А, 50 Гц |
380 ВА, 3 фазы, 40 А, 50 Гц |
|
ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ |
|||
|
Система управления |
Контроллер ПЛК с сенсорным экраном |
||
|
Количество технологических последовательностей |
8 |
||
|
Максимальное количество шагов для каждой последовательности |
16 |
||
|
Диапазон устанавливаемого времени экспозиции |
0-99 час |
||
|
Минимальный интервал программирования шага последовательности |
1 мин |
||
|
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
|||
|
Обеспечение чистоты процесса |
Вертикальный ламинарный поток газа снижает количество частиц в большинстве технологических процессов |
||
|
Максимальная температура нагрева |
450 0С (опционально 550 0С) |
||
|
Однородность температуры в зоне обработки |
± 5 °C (после стабилизации всех температурных зон установки в течении 15 мин, для пустой камеры под давлением выше 50 торр) |
||
|
Средняя скорость нагрева (150-450 0C) |
7 °C/мин |
5 °C/мин |
3.5 °C/мин |
|
Средняя скорость охлаждения (450-150 0С) |
4.5 °C/мин |
4.0 °C/мин |
3.0 °C/мин |
|
Содержание O2 в атмосфере камеры |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
|
СТАНДАРТНЫЕ ОПЦИИ |
|||
|
Максимальная температура нагрева |
550 0С |
||
|
Технологические газы |
1-3 линии |
||
|
Цифровые регуляторы расхода газа (РРГ) |
На каждую/любую из установленных линий |
||
|
Мониторинг содержания O2
|
Непрерывный мониторинг содержания O2 на выхлопе технологической камеры |
||
|
Автомат регулирования давления |
Измерение давления на выхлопе камеры и вакуумный затвор переменного сечения с автоматикой поддержания заданного давления |
||
|
Контроль температуры |
Комплект вводов и термопары для калибровки температуры внутри зоны обработки |
||
|
Протоколирование работы и мониторинг |
Компьютер и ПО YES-DAQ или связь сетью предприятия по протоколу SECS/GEM. |
||
|
Система размещения установки |
Стальной трейлер в исполнении для чистых помещений с блокирующимися колесиками |
||