Плазменная очистка, вакуумный отжиг, химическое осаждение

CV200RFS

Установка YES-CV200RFS предназначена для быстрого снятия толстых слоев фоторезиста и полиимида. Скорость снятия фоторезиста может достигать 7000 А/мин. Установка также применяется для плазменной очистки от органических загрязнений и активации поверхности. Установка оснащена электродной системой для размещения одной подложки 50-200 мм и системой фиксации подложек на электроде.

В установке используется трехэлектродная система и реализуется режим травления в плазме послесвечения т.н. Electron Free Downstream Mode. Подложка располагается на нижнем заземленной электроде. Разрядная зона образована верхним (нагруженным) и средним (заземленным) сетчатым электродом. Такая конфигурация позволяет сбалансировать заряд, выносящийся на поверхность подложки при травлении, и существенно снижает уровень УФ излучения плазмы, попадающего на поверхность подложки. Установка идеально подходит для обработки подложек с чувствительными к излучению и внесенному заряду структурами (КМОП, ТВПЭ и т.п.).

Основные применения установки YES-CV200RFS:

  • Снятие фоторезиста плазменным способом (PR strip) производится в аргон-кислородной плазме или плазме с небольшим добавлением CF4
  • Доснятие фоторезиста (PR descum) для удаления остатков фоторезиста после проявления. Позволяет избежать микромаскирования канавки травления остатками фоторезиста. Трехэлектродная система установки YES-CV200RFS с режимом «мягкой» очистки в сочетании с точным контролем времени, состава газов и скорости травления фоторезиста прекрасно реализует процесс прецизионного доснятия фоторезиста

Технические характеристики

Основные установочные данные

Совместимость с чистыми помещениями

Класс 10

Соответствие стандартам

SEMI S2/S8, CE

Размеры подложек и загрузка

50-200 мм. 200 мм - 1 шт., 100 мм - 2 шт.

Внутренние размеры технологической камеры

254 мм х 285 мм х 49 мм

Рабочая площадь электрода

316 см2

Общий размер установки (без сигнальной башни)

61 см (Д) х 71.7 см (Ш) (с открытым лотком загрузки – 110 см) х 114.3 см (В)

Материалы рабочей камеры

Алюминий, 6061-T6

Вход технологического газа

4 входа с игольчатыми натекателями (опционально - РРГ)

N2 или чистый сухой воздух для работы пневматических устройств

5.5-6.8 бар, максимальный расход 1 л/сек

N2 для продувки камеры

1-1.7 бар, максимальный расход 3.2 л/сек

Технологический газ для процесса

1-1.7 бар, расход 20-50 см3/мин

Вакуумная линия

Соединение KF40.

Минимальные требования:

Скорость откачки в точке соединения: 27 м3/час

Предельный вакуум: <0,01 торр

Охлаждение установки

Воздушная конвекция

Вес системы

147.2 кг

Электропитание

200-250 В, 1 фаза, 20 А, 50 Гц

Программное обеспечение

Система управления

Контроллер ПЛК с сенсорным экраном

Количество технологических рецептов

12

Диапазон устанавливаемого времени экспозиции

0-1200 сек

Минимальный шаг технологического рецепта

1 сек

Технологические характеристики

Диапазон программируемого нагрева подложки

25 °C - 250 °C

Источник питания для поддержания плазмы

40 кГц, 100-1000 Вт.

Контроль давления в камере

  Датчик давления конвекционного типа 0.1-1000 торр

Скорость снятия фоторезиста

> 7000 А/мин

Однородность травления

< 10%

Наведенный заряд после травления

<10 мВ, в затворном диэлектрике 200 А

Производительность в типично процессе снятия фоторезиста

60-90 сек/подложка

Тепловая нагрузка на помещение от работающей установки

920 Вт (средняя)

Стандартные опции

Цифровые регуляторы расхода газа (РРГ)

На каждую/любую из установленных линий

Форвакуумный насос

Сухой спиральный насос (не рекомендуется при использовании CF4) или пластинчато-роторный насос, Fomblin версия с фильтром масляного тумана

Автомат регулирования давления

Вакуумный затвор переменного сечения с автоматикой поддержания заданного давления по показаниям емкостного вакуумметра

Система компьютерного сбора данных и протоколирования работы

Включает интерфейс установки RS232, персональный компьютер, монитор, программное обеспечение

Система размещения установки

Стальной трейлер в исполнении для чистых помещений с блокирующимися колесиками

Скачать

Top