Технологические установки

Плазменная очистка, вакуумный отжиг, химическое осаждение

Надежные решения

Компания Yield Engineering Systems Inc. (YES) выпускает технологическое оборудование для полупроводниковой промышленности и смежных отраслей науки и технологии: микромеханика, биофизика, медицина, биосенсорика, наноматериалы и др. Линейка YES содержит установки вакуумного отжига, плазменной очистки, удаления резиста, модификации и активации поверхности, газофазного химического осаждения и других специализированных приложений

Yield Engineering Systems
CV200RFS

CV200RFS

Установка YES-CV200RFS для быстрого снятия толстых слоев фоторезиста и полиимида, плазменной очистки и активации поверхности.

G500/1000

G500/1000

Установки серии YES-G500 и G1000 для плазменной очистки и активации поверхности.

PB-CP

PB-CP

Установки серии YES-PB-CP для термической обработки и отжига в контролируемой атмосфере с ручной загрузкой кассет.

PB-HV

PB-HV

Установки серии YES-PB-HV для термической обработки в контролируемой атмосфере и вакуумного отжига с ручной загрузкой кассет.

TA

TA

Установки серии YES-TA для прайминга из газовой фазы и обращения резиста с ручной загрузкой кассет.

Top