Плазменная очистка, вакуумный отжиг, химическое осаждение
Компания Yield Engineering Systems Inc. (YES) выпускает технологическое оборудование для полупроводниковой промышленности и смежных отраслей науки и технологии: микромеханика, биофизика, медицина, биосенсорика, наноматериалы и др. Линейка YES содержит установки вакуумного отжига, плазменной очистки, удаления резиста, модификации и активации поверхности, газофазного химического осаждения и других специализированных приложений
