Серия NRE

Установки NANO-MASTER серии NRE предназначены для реактивного ионного травления широкого круга материалов микроэлектроники, фотовольтаики и МЭМС приложений.
Серия NRE включает несколько установок, отличающихся размером рабочей камеры и максимальным диаметром подложки. Стандартная система NRE-4000 предназначена для работы с подложками до 200 мм включительно и оснащается цилиндрической рабочей камерой диаметром 13” из алюминия.
Стандартная система откачки включает затвор переменного сечения, коррозионностойкий турбомолекулярный насос 250 л/сек и сухой форвакуумный насос. Дизайн рабочей камеры позволяет достичь базового давления 10-7 торр. Давления газовой смеси в процессе травления может поддерживаться в диапазоне 20 мторр – 8 торр.
Электродная система состоит из водоохлаждаемого нижнего электрода и верхнего электрода с газораспределительным душем. ВЧ генератор 13.56 МГц, 600 Вт с автоматической системой согласования нагрузки подключен к нижнему электроду. Напряжение автосмещения включено в мониторинг технологического процесса и может достигать – 500 В.
Установка работает под управлением персонального компьютера с программным обеспечением на базе пакета LabVIEW. Система оснащена графическим интерфейсом и обеспечивает как ручное управление системами установки, так и полностью автоматическое выполнение технологических последовательностей. Обеспечено несколько уровней доступа к управлению для обеспечения безопасной эксплуатации персоналом различной квалификации.