Вакуумное и магнетронное осаждение, плазмохимическое травление и осаждение, атомно-слоевое осаждение, очистка

Серия NRE

Установки NANO-MASTER серии NRE предназначены для реактивного ионного травления широкого круга материалов микроэлектроники, фотовольтаики и МЭМС приложений.
Серия NRE включает несколько установок, отличающихся размером рабочей камеры и максимальным диаметром подложки. Стандартная система NRE-4000 предназначена для работы с подложками до 200 мм включительно и оснащается цилиндрической рабочей камерой диаметром 13” из алюминия.
Стандартная система откачки включает затвор переменного сечения, коррозионностойкий турбомолекулярный насос 250 л/сек и сухой форвакуумный насос. Дизайн рабочей камеры позволяет достичь базового давления 10-7 торр. Давления газовой смеси в процессе травления может поддерживаться в диапазоне 20 мторр – 8 торр.
Электродная система состоит из водоохлаждаемого нижнего электрода и верхнего электрода с газораспределительным душем. ВЧ генератор 13.56 МГц, 600 Вт с автоматической системой согласования нагрузки подключен к нижнему электроду. Напряжение автосмещения включено в мониторинг технологического процесса и может достигать – 500 В.
Установка работает под управлением персонального компьютера с программным обеспечением на базе пакета LabVIEW. Система оснащена графическим интерфейсом и обеспечивает как ручное управление системами установки, так и полностью автоматическое выполнение технологических последовательностей. Обеспечено несколько уровней доступа к управлению для обеспечения безопасной эксплуатации персоналом различной квалификации.

Технические характеристики

Основные технические характеристики

Максимальный размер подложки

8”

Температура электрода с подложкой

20 oС (опционально от – 20 до 200 oС)

Газовые линии

C электрополировкой внутренней поверхности

Количество регуляторов расхода газа

До 8-ми (опционально до 12-ти)

Система управления

ПК, сенсорный дисплей, ПО на базе LabVIEW

Загрузка подложек

Ручная (опционально автоматическая со шлюзовой камерой)

Внешние подключения

Электропитание

208/380/415 В, 20 A/на фазу, 50/60 Гц

Вода для охлаждения

8 л/мин, 3-4 бар, 18°C

Сжатый воздух

1/4” Swagelok, 5-6 бар

Технологические газы

1/4” Swagelok, 2.5 бар

Азот для продувки

1/4” Swagelok, 1.25 бар

Вытяжка

NW25

Размеры (ДхШхВ)

NRE-4000

26”х44”х60”

NRE-3500

26”х26”х60”

NRE-3000

26”х26”х32”

Скачать

Top