Турбомолекулярные насосы
Установки серии NPE NANO-MASTER предназначены для осаждения высококачественных слоев SiO2, Si3,N4, SiOxNy, CNT, DLC или SiC на подложках размером до 8” включительно.
В зависимости от приложения, реакторная система может комплектоваться различными вариантами источников плазмы: емкостной разряд с верхним ВЧ электродом, ВЧ источник плазмы с полым катодом, ВЧ источник с индуктивно-связанной плазмой или СВЧ источник. Электрод-подложкодержатель может быть оснащен системой нагрева до 800°C. Электрод электроизолирован от основной камеры и допускает подачу электрического смещения от внешнего источника питания одновременно с нагревом. Стандартная система откачки включает затвор переменного сечения, коррозионностойкий турбомолекулярный насос 250 л/сек и форвакуумный насос. Дизайн рабочей камеры позволяет достичь базового давления 10-7 торр.
Установка работает под управлением персонального компьютера с программным обеспечением на базе пакета LabVIEW. Система оснащена графическим интерфейсом и обеспечивает как ручное управление системами установки, так и полностью автоматическое выполнение технологических последовательностей. Обеспечено несколько уровней доступа к управлению для обеспечения безопасной эксплуатации персоналом различной квалификации.
Основные технические характеристики |
|
Максимальный размер подложки |
8” |
Максимальная температура подложки |
400°C для электрода 8”, 700°C для электрода 6”, 800°C для электрода 4” |
Расстояние от источника плазмы до подложки |
2”-4” |
ВЧ источники питания |
13.56 МГц, 600 Вт для емкостного варианта, 13.56 МГц, 1000 Вт для ICP источника |
Газовые линии |
C электрополировкой внутренней поверхности |
Количество регуляторов расхода газа |
До 5-ми (опционально до 10-ти) |
Система управления |
ПК, сенсорный дисплей, ПО на базе LabVIEW |
Загрузка подложек |
Ручная (опционально автоматическая со шлюзовой камерой) |
Внешние подключения |
|
Электропитание |
208/380/415 В, 20 A/на фазу, 50/60 Гц |
Вода для охлаждения |
8 л/мин, 3-4 бар, 18°C |
Сжатый воздух |
1/4” Swagelok, 5-6 бар |
Технологические газы |
1/4” Swagelok, 2.5 бар |
Азот для продувки |
1/4” Swagelok, 1.25 бар |
Вытяжка |
NW25 |
Размеры (ДхШхВ) |
|
NRE-4000 |
26”х43”х60” |
NRE-3500 |
22”х26”х60” |