Вакуумное и магнетронное осаждение, плазмохимическое травление и осаждение, атомно-слоевое осаждение, очистка

Серия NPE

Установки серии NPE NANO-MASTER предназначены для осаждения высококачественных слоев SiO2, Si3,N4, SiOxNy, CNT, DLC или SiC на подложках размером до 8” включительно.
В зависимости от приложения, реакторная система может комплектоваться различными вариантами источников плазмы: емкостной разряд с верхним ВЧ электродом, ВЧ источник плазмы с полым катодом, ВЧ источник с индуктивно-связанной плазмой или СВЧ источник. Электрод-подложкодержатель может быть оснащен системой нагрева до 800°C. Электрод электроизолирован от основной камеры и допускает подачу электрического смещения от внешнего источника питания одновременно с нагревом. Стандартная система откачки включает затвор переменного сечения, коррозионностойкий турбомолекулярный насос 250 л/сек и форвакуумный насос. Дизайн рабочей камеры позволяет достичь базового давления 10-7 торр.
Установка работает под управлением персонального компьютера с программным обеспечением на базе пакета LabVIEW. Система оснащена графическим интерфейсом и обеспечивает как ручное управление системами установки, так и полностью автоматическое выполнение технологических последовательностей. Обеспечено несколько уровней доступа к управлению для обеспечения безопасной эксплуатации персоналом различной квалификации.

Технические характеристики

Основные технические характеристики

Максимальный размер подложки

8”

Максимальная температура подложки

400°C для электрода 8”, 700°C для электрода 6”, 800°C для электрода 4”

Расстояние от источника плазмы до подложки

2”-4”

ВЧ источники питания

13.56 МГц, 600 Вт для емкостного варианта, 13.56 МГц, 1000 Вт для ICP источника

Газовые линии

C электрополировкой внутренней поверхности

Количество регуляторов расхода газа

До 5-ми (опционально до 10-ти)

Система управления

ПК, сенсорный дисплей, ПО на базе LabVIEW

Загрузка подложек

Ручная (опционально автоматическая со шлюзовой камерой)

Внешние подключения

Электропитание

208/380/415 В, 20 A/на фазу, 50/60 Гц

Вода для охлаждения

8 л/мин, 3-4 бар, 18°C

Сжатый воздух

1/4” Swagelok, 5-6 бар

Технологические газы

1/4” Swagelok, 2.5 бар

Азот для продувки

1/4” Swagelok, 1.25 бар

Вытяжка

NW25

Размеры (ДхШхВ)

NRE-4000

26”х43”х60”

NRE-3500

22”х26”х60”

Скачать

Top