Серия NIE

Системы ионно-лучевого травления NANO-MASTER NIE-4000 - это проверенные на практике, автоматизированные системы, простые в использовании, обеспечивающие высокую воспроизводимость результата и надёжную работу с отличной однородностью подложек.

Подложкодержатели, применяемые в системах ионно-лучевого травления NANO-MASTER, имеют возможность наклона в диапазоне ±90°, вращения, охлаждения водой или жидким азотом, а также гелиевый тепловой контакт с обратной стороны подложки. Для процессов, чувствительных к температуре, технологии NANO-MASTER предоставляют возможность поддерживать температуру подложки ниже 70°C. Нагрев также возможен с помощью нагревательного элемента, встроенного в узел рабочей платформы. В некоторых случаях нагрев образцов выше 150°C желателен для повышения летучести материалов, подвергаемых травлению и соответственного увеличения скорости травления. Наклоняя образец, можно контролировать профиль боковой стенки и оптимизировать радиальную однородность процесса.

Источники типа RF ICP, совместимые с химически активными газами, обеспечивают селективность травления и повышение его скорости. Может быть предусмотрена возможность напыления для покрытия свежетравленных металлических поверхностей для защиты от окисления. Доступна загрузочная камера с турбомолекулярным насосом, а также возможность автоматической загрузки и разгрузки.

NANO-MASTER может предложить пользователю двухкамерные системы с RIE и ионно-лучевым травлением в качестве системы, способной травить очень широкий спектр материалов, или систему распыления и ионно-лучевого травления для травления решёток и нанесения покрытия на них. Две камеры соединены между собой, с опцией автоматической загрузкой пластины и передачи её между камерами, без нарушения вакуума в течение процесса. Такая двойная система снижает стоимость оборудования, а также компактней и эргономичней в сравнении с двумя отдельными системами за счет использования общей насосной системы, источников питания и управляющей электроники.