Турбомолекулярные насосы
Системы ионно-лучевого травления NANO-MASTER NIE-4000 - это проверенные на практике, автоматизированные системы, простые в использовании, обеспечивающие высокую воспроизводимость результата и надёжную работу с отличной однородностью подложек.
Подложкодержатели, применяемые в системах ионно-лучевого травления NANO-MASTER, имеют возможность наклона в диапазоне ±90°, вращения, охлаждения водой или жидким азотом, а также гелиевый тепловой контакт с обратной стороны подложки. Для процессов, чувствительных к температуре, технологии NANO-MASTER предоставляют возможность поддерживать температуру подложки ниже 70°C. Нагрев также возможен с помощью нагревательного элемента, встроенного в узел рабочей платформы. В некоторых случаях нагрев образцов выше 150°C желателен для повышения летучести материалов, подвергаемых травлению и соответственного увеличения скорости травления. Наклоняя образец, можно контролировать профиль боковой стенки и оптимизировать радиальную однородность процесса.
Источники типа RF ICP, совместимые с химически активными газами, обеспечивают селективность травления и повышение его скорости. Может быть предусмотрена возможность напыления для покрытия свежетравленных металлических поверхностей для защиты от окисления. Доступна загрузочная камера с турбомолекулярным насосом, а также возможность автоматической загрузки и разгрузки.
NANO-MASTER может предложить пользователю двухкамерные системы с RIE и ионно-лучевым травлением в качестве системы, способной травить очень широкий спектр материалов, или систему распыления и ионно-лучевого травления для травления решёток и нанесения покрытия на них. Две камеры соединены между собой, с опцией автоматической загрузкой пластины и передачи её между камерами, без нарушения вакуума в течение процесса. Такая двойная система снижает стоимость оборудования, а также компактней и эргономичней в сравнении с двумя отдельными системами за счет использования общей насосной системы, источников питания и управляющей электроники.
Параметр | Значение |
Рабочая камера | 14 или 20", кубической формы, материал - нержавеющая сталь |
Максимальный размер подложки | 6” (DC)/ 8” (RF) |
Диаметр ионного источника (DC) | максимум 16 см |
Ток ионного источника (DC) | >650mA |
Диаметр ионного источника (RF) | максимум 20 см |
Ток ионного источника (RF) | >800mA |
Затвор | Пневматический |
Платформа | скорость вращения до 20 об/мин, наклон в пределах ±90°, водяное или азотное охлаждение |
Базовое давление | 5x10-7 торр с турбонасосом 260 л/с, 3x10-7 торр с турбонасосом 680 л/с, 8x10-8 торр с турбонасом 1240 л/с в камере диаметром 14" |
РРГ (реактивные и инертные газы) | Ar, O2, CF4 |
Системное управление | Управление с ПК с помощью ПО LabVIEW |
Загрузка и разгрузка пластин | Ручная и автоматическая |
Занимаемая площадь | 26” x 44” | Внешнее подключение |
Электропитание | 208/380/415 В, 20 A/на фазу, 50/60 Гц |
Вода охлаждения | 7,5 л/мин, 3-4 бар, 18°C |
Сжатый воздух | 1/4” Swagelok, 5,5 - 6,2 бар |
Технологические газы | 1/4” Swagelok, 1,4 бар |
Азот для продувки | 1/4” Swagelok, 1,4 бар |
Выхлоп | NW25 |