Турбомолекулярные насосы
Установка LSC-5000 предназначена для автоматической очистки фотошаблонов и масок с пелликлом. В систему интегрирован робот и контейнер со стандартным механическим интерфейсом (SMIF) с возможностью считывания штрихкода, благодаря чему LSC-5000 может обрабатывать 6-дюймовые шаблоны, сохраняя при этом минимальную площадь, по сравнению с другими роботизированными системами очистки. В установке используется две программируемые руки для очистки фотошаблонов с обеих сторон. Линейная рука обеспечивает равномерную очистку лицевой стороны шаблона, а радиальная рука - равномерное распределение деионизованной воды с мегазвуковым содействием энергией при очистке задней стороны. При очистке, шаблон сначала устанавливается на держатель лицевой стороной вниз и происходит очистка задней стороны радиальной рукой. Затем шаблон сушится и переворачивается. На лицевую часть устанавливается защитный колпак и начинается очистка меток совмещения линейной рукой с использованием мегазвукового излучателя, щетки и реагентов. После этого держатель переворачивается и производится очистка другой стороны. Затем шаблон высушивается, а защитный колпак удаляется. Все манипуляции происходят автоматически с помощью робота.
Управление установкой осуществляется с помощью персонального компьютера с сенсорным экраном и программного обеспечения на базе пакета LabVIEW, что значительно расширяет возможности по настройке технологических последовательностей и управлению процессом очистки.
Основные технические характеристики LSC-5000 |
|
Максимальный диаметр пластины |
круглые до Ø21'' |
Максимальный размер фотошаблона |
6'', опционально до 9''x9'' |
Тип интерфейса |
Контейнер со стандартным механическим интерфейсом (SMIF) RSP150/RSP200 |
Среднее время очистки |
5 минут на сторону |
Частота мегазвукового излучателя |
1 МГц или 3 МГц |
Максимальная выходная мощность ВЧ источника питания |
60 Вт |
Максимальный расход деионизованной воды |
1.5 л/мин |
Управление |
ПК с LabVIEW и сенсорным дисплеем |
Технологическая камера |
Камера из ХПВХ с фильтром HEPA и продувкой |
Загрузка/Выгрузка |
Робот Fortrend G4 plus c контейнером с интерфейсом SMIF. Автоматическая загрузка/выгрузка и переворот. |
Очистка масок с пелликлом |
Опционально. Линейная рука с дополнительной щеткой, мегазвуковой насадкой и защитным колпаком для очистки передней стороны шаблона. |
Размер (Ш х Г х В) |
45''x59''x73'' |
Требования к месту установки |
|
Электропитание |
208В, 50/60 Гц, 20A |
Охлаждающая вода |
2х3/8” Swagelok для подвода и отвода воды |
Сжатый воздух |
1/4” Swagelok, 80-90 PSI |
Технологический газ |
1/4” Swagelok, 20 PSIG |
Азот |
1/4” Swagelok, 10 PSIG |