Вакуумное и магнетронное осаждение, плазмохимическое травление и осаждение, атомно-слоевое осаждение, очистка

Серия LSC 5000

Установка LSC-5000 предназначена для автоматической очистки фотошаблонов и масок с пелликлом. В систему интегрирован робот и контейнер со стандартным механическим интерфейсом (SMIF) с возможностью считывания штрихкода, благодаря чему LSC-5000 может обрабатывать 6-дюймовые шаблоны, сохраняя при этом минимальную площадь, по сравнению с другими роботизированными системами очистки. В установке используется две программируемые руки для очистки фотошаблонов с обеих сторон. Линейная рука обеспечивает равномерную очистку лицевой стороны шаблона, а радиальная рука - равномерное распределение деионизованной воды с мегазвуковым содействием энергией при очистке задней стороны. При очистке, шаблон сначала устанавливается на держатель лицевой стороной вниз и происходит очистка задней стороны радиальной рукой. Затем шаблон сушится и переворачивается. На лицевую часть устанавливается защитный колпак и начинается очистка меток совмещения линейной рукой с использованием мегазвукового излучателя, щетки и реагентов. После этого держатель переворачивается и производится очистка другой стороны. Затем шаблон высушивается, а защитный колпак удаляется. Все манипуляции происходят автоматически с помощью робота.
Управление установкой осуществляется с помощью персонального компьютера с сенсорным экраном и программного обеспечения на базе пакета LabVIEW, что значительно расширяет возможности по настройке технологических последовательностей и управлению процессом очистки.

Технические характеристики

Основные технические характеристики LSC-5000

Максимальный диаметр пластины

круглые до Ø21''

Максимальный размер фотошаблона

6'', опционально до 9''x9''

Тип интерфейса

Контейнер со стандартным механическим интерфейсом (SMIF) RSP150/RSP200

Среднее время очистки

5 минут на сторону

Частота мегазвукового излучателя

1 МГц или 3 МГц

Максимальная выходная мощность ВЧ источника питания

60 Вт

Максимальный расход деионизованной воды

1.5 л/мин

Управление

ПК с LabVIEW и сенсорным дисплеем

Технологическая камера

Камера из ХПВХ с фильтром HEPA и продувкой

Загрузка/Выгрузка

Робот Fortrend G4 plus c контейнером с интерфейсом SMIF. Автоматическая загрузка/выгрузка и переворот.

Очистка масок с пелликлом

Опционально. Линейная рука с дополнительной щеткой, мегазвуковой насадкой и защитным колпаком для очистки передней стороны шаблона.

Размер (Ш х Г х В)

45''x59''x73''

Требования к месту установки

Электропитание

208В, 50/60 Гц, 20A

Охлаждающая вода

2х3/8” Swagelok для подвода и отвода воды

Сжатый воздух

1/4” Swagelok, 80-90 PSI

Технологический газ

1/4” Swagelok, 20 PSIG

Азот

1/4” Swagelok, 10 PSIG

Скачать

Top