Вакуумное и магнетронное осаждение, плазмохимическое травление и осаждение, атомно-слоевое осаждение, очистка
Компания NANO-MASTER, USA была образована в 1992 как дочернее подразделение Французской фирмы NANO-MASTER, S.A., специализирующей в области метрологии и инспекции дефектов. В 1993 NANO-MASTER, USA стала самостоятельной частной компанией и позже изменила название на NANO-MASTER, Inc.
Начиная с 2000 года, NANO-MASTER, Inc. разрабатывает и производит установки для исследовательских лабораторий и специализируется на оборудовании для процессов тонкопленочных технологий.
Оборудование NANO-MASTER, Inc. находит применение в области полупроводниковых технологий, микромеханики, оптоэлектроники, нанотехнологии и фотовольтаики. Копания выпускает установки для плазмохимического осаждения (PECVD), плазмохимического травления (RIE, RIE-ICP), установки вакуумного осаждения и магнетронного распыления, ионно-лучевого травления (IBE и CAIBE), атомно-слоевого осаждения (ALD и PE-ALD), установки снятия фоторезиста и системы очистки подложек и фотошаблонов. В настоящее время по всему миру функционирует около 150-ти систем производства NANO-MASTER, Inc.
