ЛАБОРАТОРНЫЕ УСТАНОВКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

Вакуумное и магнетронное осаждение, плазмохимическое травление и осаждение, атомно-слоевое осаждение, очистка

Оборудование для исследовательских лабораторий микроэлектроники

Компания NANO-MASTER, USA была образована в 1992 как дочернее подразделение Французской фирмы NANO-MASTER, S.A., специализирующей в области метрологии и инспекции дефектов. В 1993 NANO-MASTER, USA стала самостоятельной частной компанией и позже изменила название на NANO-MASTER, Inc.
Начиная с 2000 года, NANO-MASTER, Inc. разрабатывает и производит установки для исследовательских лабораторий и специализируется на оборудовании для процессов тонкопленочных технологий.
Оборудование NANO-MASTER, Inc. находит применение в области полупроводниковых технологий, микромеханики, оптоэлектроники, нанотехнологии и фотовольтаики. Копания выпускает установки для плазмохимического осаждения (PECVD), плазмохимического травления (RIE, RIE-ICP), установки вакуумного осаждения и магнетронного распыления, ионно-лучевого травления (IBE и CAIBE), атомно-слоевого осаждения (ALD и PE-ALD), установки снятия фоторезиста и системы очистки подложек и фотошаблонов. В настоящее время по всему миру функционирует около 150-ти систем производства NANO-MASTER, Inc.

NANO-MASTER Inc.
Серия SWC 3000/4000

Серия SWC 3000/4000

Установки очистки фотошаблонов и пластин диаметром до 12''

Серия LSC 4000

Серия LSC 4000

Установка очистки фотошаблонов и пластин диаметром до 21'' серии LSC-4000

Серия LSC 5000

Серия LSC 5000

Автоматическая установка очистки фотошаблонов и пластин серии LSC-5000

Серия NRE

Серия NRE

Установки плазмохимического травления серии NRE

Серия NPE

Серия NPE

Установки плазмохимического осаждения серии NPE

Серия NIE

Серия NIE

Установки ионно-лучевого травления серии NIE

Top