Тестирование подложек в полупроводниковой промышленности

LEI 1800

Измерители поверхностного сопротивления серии 1800 обеспечивают неразрушающие бесконтактные измерения поверхностного сопротивления различных изделий полупроводниковой промышленности.
Модели 1800CH-14mm OEM и 1800CH-2.5'' OEM позволяют получать характеристики эпитаксиальных слоев и отожженных ионно-имплантированных слоев на полу изоляционных и некоторых легированных подложках сложных полупроводниковых материалов. Для кремниевых пластин: объемный Si, эпитаксиальные слои, отожженные ионно-имплантированные, равномерность легирования POCl3 на подложках с высоких сопротивлением. А также, можно получить характеристики тонких слоев металлизации (свяжитесь с нами для консультации). В этих приборах производится автоматическая компенсация дрейфа, а также точное регулирование напряжения для обеспечения линейности и воспроизводимости результатов. Диапазоны удельного сопротивления можно выбирать программным способом.
Модели 1800CH-14mm и 1800CH-2.5'' отличаются размером датчика (14мм и 2.5 дюйма соответственно), нормальным зазором катушки (≥ 0,35” и ≥ 0,40”) и размером пластин (3”-12” и 4”-18”). В обоих приборах используется ручная загрузка.
Модель 1800IS OEM используется для получения характеристик солнечных батарей и панелей дисплеев. Этот прибор идеально подходит для установки на производственную линию, позволяет обеспечить однородность от панели к панели, выявить неравномерность осаждения пленки, вызванную, например, выработкой мишени и обеспечить максимальное использование мишени.
Модель 1800LS позволяет выполнять неразрушающие измерения панелей дисплеев. Для этой модели доступны функции автоматического позиционирования и маппинга.
Модель 1800SA Gantry – это автоматическая измерительная система с размером рабочего столика 12х12 дюймов для солнечных батарей, образцов больших размеров и панелей дисплеев, с возможностью маппинга. Производительность до 30 точек в минуту.

Технические характеристики

 

1800CH-4mm

1800CH–2.5’’

1800IS

1800LS

1800SA

Диапазоны измерений, Ом/кв. поверхности

 

 

 

 

 

Hi

16 - 3000

16 - 3000

16 - 3000

16 - 3200

15 - 3000

Low

0.16 - 16

0.16 - 16

0.16 - 16

0.16 - 16

0.16 - 15

XLow

0.035 -1.6

0.035 -1.6

0.035 -1.6

0.032 -1.6

0.024 -1.6

Размер датчика

Ø14 мм

Ø2.5'' (63.5 мм)

14 мм или 2.5''

14 мм или 2.5''

9 мм,14 мм или 2.5''

Top