Тестирование подложек в полупроводниковой промышленности

LEI 1600

Системы Semilab LEI-1600 для бесконтактного измерения подвижности носителей заряда методом, основанным на анализе отраженной энергии сверхвысокочастотных колебании. Обеспечивают картографирование подвижности носителей, что позволяет позволяет оптимизировать ростовые реакторы и получить максимальный выход годных изделий.

LEI-1616AM, LEI-1618AM, LEI-1616RP, LEI-1618RP
LEI-1616 идеально подходит как для НИОКР, так и для производства ВЧ и СВЧ устройств. Постоянный магнит позволяет измерять подвижность до 100 см2/В*с и удельное слоевое сопротивление в диапазоне 100-3000 Ом/кв. В модификациях AM загрузка и выгрузка пластин производиться вручную, а измерения и картографирование автоматизированы. Установки способны обрабатывать 50-200 мм пластины. Модификации RP включают робот загрузчик. В модели LEI-1618 добавлена интегрированная головка вихревого тока для повышения точности измерения слоевого сопротивления.

LEI -1610E100AM, LEI -1610E100R
LEI-1610E100 идеально подходит как для НИОКР, так и для массового производства устройств, имеющих низкий уровень подвижности (до 100 см2/В*с). Входящий в состав установки электромагнит позволяет измерять подвижность до 100 см2/В*с. Уд. слоевое сопротивление измеряется в диапазоне 100-3000 Ом/кв. Электромагнит также позволяет проводить измерения на множестве магнитных (В) полей. Это дает возможность составить модель носителей в нескольких слоях, что сравнимо с возможностями обычных измерительных систем Холла. В модификациях AM загрузка и выгрузка пластин производиться вручную, а измерения и картографирование автоматизированы. Установки способны обрабатывать 50-200 мм пластины. RP модификация роботизирована и позволяет обрабатывать либо 50-150 мм, либо 76-200 мм пластины.

LEI -3200RP
LEI-3200RP объединяет возможность измерения как подвижности (блок измерений 1610E100) так и уд. слоевого сопротивления (блок 1510). Такое сочетание дает возможность измерять уд. слоевое сопротивление в диапазоне от 0,0035 до 3000 Ом/кв, подвижность даже самого низкого уровня, до 100 см2/В*с и составить модель носителей в нескольких слоях.

Технические характеристики

Модель

1616АМ (RP)

1618АМ (RP)

1610E100AM (R)


Динамическая повторяемость для подвижности и слоевого сопротивления

~ 100 - 600 см2/В*с

нет

± 3.0%


~ 600-1.500 см2/В*с

± 4.0%

± 3.5%

± 2.5%


~ 1500 -10.000 см2/В*с

± 3.5%

± 3.0%

± 2.0%


~ 10,000 – 20.000 см2/В*с

± 4.0%

± 3.5%

± 2.5%


~ 100 – 3.000 Ом/кв

± 2.5%

± 2.0%

± 2.0%


Статистическая повторяемость для подвижности и слоевого уд. сопротивления

± 2.0 %

± 1.5 %

± 2.0 %


Типичный зазор (устанавливается на заводе)

≤1.27 мм

≤1.016 мм


Диаметр пятна измерений

14 мм

21 мм


Диаметр пластин

2” – 6”

2” – 8”

2” – 8”


Скачать

Top