Тестирование подложек в полупроводниковой промышленности

LEI 1510

Линейка установок LEI 1510 позволяет проводить бесконтактное неразрушающее измерение поверхностного сопротивления полупроводниковых материалов. Эти приборы оптимизированы для картографирования сложных полупроводниковых материалов, а рабочие диапазоны измерений хорошо сочетаются с областями применения наших заказчиков.
В системах серии 1510 для измерения поверхностного сопротивления образец помещается в переменное магнитное поле индуктора. Под влиянием этого поля в образце возбуждаются вихревые токи, которые изменяют полное электросопротивление индуктора. Изменение величины последнего характеризует электросопротивление образца. Для расширения диапазона измерений могут применяться несколько индукторов с отличающимися характеристиками.
Модели LEI-1510EB и LEI-1510EC идеально подходят как для исследований и разработок, так и для метрологии массового производства. В этих установках используется ручная загрузка, они могут обрабатывать пластины размером от 50 до 200 мм, а общий измерительный диапазон от 0,035 до 3200 Ом/кв. Модель LEI-1510EC обладает более высокой скоростью обработки пластин, чем модель EB и подходит для тех приложений, где производительность является критической.
Модели LEI-1510EB-RP и LEI-1510EC-RP оснащены роботизированной загрузкой и могут обрабатывать пластины размером 50-150 мм или 76-200 мм (опционально). В этих установках захват пластины происходит из одной кассеты.
Модели LEI-1510EB-RS и LEI-1510EC-RS имеют расширенные возможности по сортировке пластин за счет второй кассетной станции и позволяют разбить подложки на две категории по результатам измерений.

Технические характеристики

Диапазоны измерений поверхностного сопротивления, Ом/кв.

 

HI

15 - 3000

LO

0.2 - 15

XL

0.035 -1.5

Линейность в диапазоне 0.035-3000 Ом/кв. поверхности

< ±3%

Диапазоны измерений объемного удельного сопротивления, Ом‧см

 

Hi

1 - 200

Low

0.01 – 1.0

XLow

0.005 - 0.1

Стандартное отклонение

0.1% - 1.0% в зависимости от диапазона

Размер пластины

2'' - 8'' (50 – 200 мм)

Размер датчика

Ø14мм

Top