AutoSIMS

Hiden AutoSIMS - это автономный, автоматизированный ВИМС (Secondary Ionization Mass Spectrometry, SIMS) инструмент для текущего и итеративного анализа поверхности методами масс-спектрометрии вторичных ионов и вторичных нейтралей. Идеально подходит для исследования тонких пленок, анализа загрязнений и примесей верхнего монослоя толщиной в несколько микрон как в проводящих так и в не проводящих материалах.
Образцы загружаются с помощью модульного кассетного держателя и позиционируются посредством прецизионного столика с компьютерным управлением. Ионная пушка с высокой стабильностью пучка и аналитические рецепты обеспечивают работу системы в полностью автоматическом режиме. Вывод и передача результатов осуществляется в пользовательском формате или формате электронной таблицы. Благодаря простой электронной таблице можно определить положение анализа и тип используемого рецепта, что также позволяет оператору без особых усилий скомпилировать сложную экспериментальную матрицу.
Для опытных исследователей доступен полный спектр SIMS и SNMS параметров, что позволяет использовать прибор AutoSIMS в качестве мощного исследовательского инструмента, обеспечивающего высокое разрешение по глубине анализа образца при невысоких эксплуатационных расходах.

Основные достоинства AutoSIMS:

• Полностью автоматизированный SIMS анализ
• Нанометровое разрешение по глубине
• 3D-характеризация образца
• Настраиваемый держатель образцов кассетного типа c X-Y приводом
• Стабильный кислородный источник ионов
• Модульная конструкция, предусматривающая простое обслуживание для обеспечения безотказной работы