Многоволновая эллипсометрия

Универсальные эллипсометры

FS-1

FS-1

Многоволновой эллипсометр FS-1 на основе 4-х светодиодных источника света и гарантированным временем работы не менее 50 000 часов. Конструкция эллипсометра не содержит движущихся частей в детекторном блоке и позволяет провести сбор данных для измерений в одной точке образца для всех длин волн за 10 мсек. При большом времени накопления сигнала (~ 1 сек) обеспечивается точность измерения толщины до 0,001 нм. Для прозрачных пленок максимальная измеряемая толщина составляет не менее 1 мкм.
Программное обеспечение использует пользовательский интерфейс на основе веб-браузера и не требует установки программного обеспечения на управляющем компьютере. Любой настольный компьютер, ноутбук, планшет или даже смартфон, работающий с современным веб-браузером, может использоваться для управления через сеть Ethernet или Wi-Fi.
Программное обеспечение реализует простые в использовании режимы для проведения однократных, непрерывных и динамических измерений, калибровки и тестирования датчика, а также для построения и тестирования моделей анализа данных.
При обработке данных реализуется традиционный подход к анализу методом наименьших квадратов. Модели построены путем простого выбора материалов для подложки и слоя (слоев) и определения параметров модели (таких как толщина слоя, угол падения измерительного луча, показатель преломления и т. д.). Алгоритм регрессии автоматически корректирует параметры модели, чтобы минимизировать разницу между рассчитанными и измеренными эллипсометрическими данными модели, что приводит к «наилучшим образом подходящим» значениям для параметров подгонки.

Технические характеристики

Образец

Параметр

Точность

Достоверность

2 нм естественный оксид на Si

Толщина

0.092 нм

0.00094 нм

50 нм оксид на Si (NIST SRM)

Толщина

Коэффициент преломления @ 633 нм

0.32 нм

0.014

0.007 нм

0.00016

100 нм оксид на Si

Толщина

Коэффициент преломления @ 633 нм

0.18 нм

0.0004

0.002 нм

0.00002

1000 нм оксид на Si

Толщина

1.0 нм

0.0048 нм

100-50-100 нм SiO2/ Si3N4/SiO2 на Si

SiO2 Толщина

Si3N4 Толщина

SiO2 Толщина

0.54 нм

1.0 нм

1.4 нм

0.0049 нм

0.0096 нм

0.013 нм

6 нм TiO2 на Si

Толщина

Коэффициент преломления @ 633 нм

0.066 нм

0.051

0.0014 нм

0.0008

70 нм Al2O3 на Si

Толщина

Коэффициент преломления @ 633 нм

0.17 нм

0.0007

0.0014 нм

0.000046

500 нм Si3N4 на Si

Толщина

Шероховатость

Коэффициент преломления @ 633 нм

k @ 633 нм

2.7 нм

0.52 нм

0.011

0.0006

0.048 нм

0.0056 нм

0.00017

0.000015

130 нм SiO на Au

Толщина

Коэффициент преломления @ 633 нм

1.8 нм

0.0076

0.0039 нм

0.000021

Top