Многоволновая эллипсометрия

FS-1

Многоволновой эллипсометр FS-1 Film Sense на основе 4-х светодиодных источника света c гарантированным временем работы не менее 50 000 часов. Конструкция эллипсометра не содержит движущихся частей в детекторном блоке и позволяет провести сбор данных для измерений в одной точке образца для всех длин волн за 10 мсек. При большом времени накопления сигнала (~ 1 сек) обеспечивается точность измерения толщины до 0,001 нм. Для прозрачных пленок максимальная измеряемая толщина составляет не менее 1 мкм.
Программное обеспечение использует пользовательский интерфейс на основе веб-браузера и не требует установки программного обеспечения на управляющем компьютере. Реализованы простые в использовании режимы для проведения однократных, непрерывных и динамических измерений, калибровки и тестирования датчика, а также для построения и тестирования моделей анализа данных.
При обработке данных реализуется традиционный подход к анализу методом наименьших квадратов. Модели построены путем простого выбора материалов для подложки и слоя (слоев) и определения параметров модели (таких как толщина слоя, угол падения измерительного луча, показатель преломления и т. д.). Алгоритм регрессии автоматически корректирует параметры модели, чтобы минимизировать разницу между рассчитанными и измеренными эллипсометрическими данными модели, что приводит к «наилучшим образом подходящим» значениям для параметров подгонки.

Эллипсометр предлагается в нескольких вариантах исполнения:

• FS-1 In situ на фланцах 2.75” или 1.33″ CF для монтажа в установки осаждения (PVD, ALD, MBE, MOCVD)
• FS-1 Standard Frame со столиком для размещения образцов диаметром до 200 мм и высотой до 23 мм
• FS-XY150 с маппингом X(150 мм), Y(150 мм) и разрешением 5 μм
• FS-RT300 c маппингом R (150 мм), разрешением 12 μм и Ɵ(360°), разрешение 0.1°