Промышленные установки для термического и магнетронного осаждения, плазменной очистки и модификации поверхности
Установки серии Kolzer DGK – оптимальное решение для небольших производств: минимальное время перезагрузки и максимальная производительность усилиями одного оператора. Модели отличаются между собой диаметром вакуумной камеры и объёмом загрузки деталей. Фиксация изделий производится в системе индивидуальной технологической оснастки с горизонтальной осью вращения. Удобный и компактный дизайн сводит к минимуму перемещения оператора, система перезагрузки повышает производительность смежных этапов производства.
В зависимости от требований к конечному покрытию, оборудование оснащается модулями для различных процессов:
Все перечисленные модули могут быть интегрированы в оборудование как в самом начале, так и в процессе последующей модернизации системы. Преимуществом установок Kolzer является возможность комбинирования данных процессов в одной вакуумной камере и получения желаемого покрытия нажатием одной кнопки в максимально короткий отрезок времени. Все этапы работы находятся под управлением ПК с автоматическим архивированием, резервным копированием данных и возможностью получения отчётов в режиме реального времени. Непосредственно в течение технологического процесса оператору доступны все данные о состоянии системы и цикла: давление, температура мишени, расход рабочего газа, давление и температура воды в системе охлаждения насосов, остаточный ресурс выработки мишеней.
Технологические решения Kolzer в сфере вакуумной металлизации широко применяются во многих областях:
Решения Kolzer находят применение повсеместно. Но где бы они не применялись, они всегда экологичны, экономичны и демонстрируют блестящие результаты.
|
Серия Kolzer DGK |
|||
DGK24 |
DGK36 |
DGK48 |
DGK63 |
|
Диаметр рабочей камеры, мм |
610 |
1000 |
1200 |
1600 |
Количество сателлитов, шт. |
6 |
4 / 6 |
6 / 12 |
6 / 12 |
Диаметр сателлитов, мм |
170 |
330 / 280 |
360 / 220 |
500 / 300 |
Рабочая длина подвесок, мм |
900 |
1005 |
1275 |
2000 |
Источники напыления, максимально, шт. |
2 |
3 |
3 |
4 |
Нагрев образцов |
опционально |
|||
Подача технологических газов |
РРГ |
|||
Время достижения вакуума 5х10-4мбар, мин |
2 |
4 |
4 |
4 |
Предельный вакуум, мбар |
1 х 10-5 |
1 х 10-5 |
1 х 10-5 |
1 х 10-5 |
Форвакуумный насос, м3/час |
120 |
250 |
520 |
800 |
Насос Рутса м3/час |
1000 |
2000 |
3000 |
4000 |
Диффузионный насос, л/сек |
5000 |
2 х 5000 |
2 х 23000 |
2 х 26000 |
Турбомолекулярный насос |
опционально |
|||
Автоматическое выполнение технологического цикла |
стандартно |
|||
Подключенная мощность, кВт |
12 |
30 |
40 |
48 |
Номинальная мощность, кВт |
6,5 |
15 |
20,5 |
24 |
Приблизительный вес, кг |
1000 |
2000 |
4800 |
6000 |