Промышленные установки для термического и магнетронного осаждения, плазменной очистки и модификации поверхности

Kolzer DGK

Установки серии Kolzer DGK – оптимальное решение для небольших производств: минимальное время перезагрузки и максимальная производительность усилиями одного оператора. Модели отличаются между собой диаметром вакуумной камеры и объёмом загрузки деталей. Фиксация изделий производится в системе индивидуальной технологической оснастки с горизонтальной осью вращения. Удобный и компактный дизайн сводит к минимуму перемещения оператора, система перезагрузки повышает производительность смежных этапов производства.

В зависимости от требований к конечному покрытию, оборудование оснащается модулями для различных процессов:

  • Ионно-плазменная очистка – электрофизический метод подготовки поверхности плазмой тлеющего разряда. Эта технология позволяет очистить поверхность подложки на молекулярном уровне, «активируя» её перед нанесением напыления. В результате очистки удаляются поверхностные загрязнения, повышается адгезионная и адсорбционная способности подложки. Данная операция применима не только в технологическом процессе металлизации, но и как отдельный этап перед покраской или склейкой полимерных материалов. Блок плазменной очистки есть в каждой установке производства Kolzer.
  • Терморезистивное осаждение – самый распространённый и доступный метод металлизации. Материал, помещаемый в спираль, нагревается и испаряется на подложку, позволяя получить зеркальную однородную поверхность. Металлизация проходит при давлении ~ 10-2Па и не требует глубокой откачки. Терморезистивное осаждение может применяться как отдельный процесс (многослойные элементы микросхем), так и в сочетании с последующим плазмохимическим (рефлекторы автомобильных фар). Данный процесс – самый технически неприхотливый и экономически выгодный метод превращения подложки в эстетически привлекательную блестящую поверхность. Установки Kolzer серии DGK всего за один технологический цикл позволяют превратить в зеркало поверхность площадью до 18 м2 в зависимости от своих габаритов и расположения оснастки.
  • PVD (Physical Vapour Deposition) – магнетронное высоковакуумное катодное напыление. Напыление происходит в результате бомбардировки мишени ионами рабочего газа и последующих высвобождения и конденсации атомов напыляемого материала на подложке. Процесс магнетронного осаждения является одним из самых «гибких» методов напыления: к применению доступны мишени из различных металлов и сплавов в сочетании с разными рабочими газами. В промышленном секторе данная технология применима не только для получения зеркальных покрытий оттенков широкого спектра, но и для придания дополнительных свойств автомобильным и архитектурным стёклам. В оборудовании Kolzer серии DGK, в зависимости от диаметра вакуумной камеры, можно установить до 4 источников магнетронного напыления. Ресурс одной мишени, в зависимости от формы магнетрона и геометрии изделий, исчисляется сотнями технологических циклов.
  • PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) – плазмохимическое осаждение. Покрытия, получаемые данным методом, являются результатом химической реакции с кремнийорганическими полимерами в газовой фазе. Данный метод осаждения применяется для получения гидрофобных, антикоррозионных, стойких к износу и царапанию покрытий – физико-механические свойства изделия остаются неизменными, но модифицируются свойства поверхностного слоя при взаимодействии с окружающей средой. Kolzer – первая компания, разработавшая и представившая на индустриальном рынке решения для получения прозрачных, химически инертных нанопокрытий с барьерным эффектом.

Все перечисленные модули могут быть интегрированы в оборудование как в самом начале, так и в процессе последующей модернизации системы. Преимуществом установок Kolzer является возможность комбинирования данных процессов в одной вакуумной камере и получения желаемого покрытия нажатием одной кнопки в максимально короткий отрезок времени. Все этапы работы находятся под управлением ПК с автоматическим архивированием, резервным копированием данных и возможностью получения отчётов в режиме реального времени. Непосредственно в течение технологического процесса оператору доступны все данные о состоянии системы и цикла: давление, температура мишени, расход рабочего газа, давление и температура воды в системе охлаждения насосов, остаточный ресурс выработки мишеней.

Технологические решения Kolzer в сфере вакуумной металлизации широко применяются во многих областях:

  • автомобилестроение (рефлекторы фар, диски, решётки радиатора, молдинги и др.)
  • индустрия моды (пуговицы, обувь, текстиль, бижутерия и иные аксессуары)
  • дизайн и архитектура (мебель, осветительные приборы, стекло, упаковка)
  • производство бытовой и оргтехники
  • сантехническая арматура
  • индивидуальные решения

Решения Kolzer находят применение повсеместно. Но где бы они не применялись, они всегда экологичны, экономичны и демонстрируют блестящие результаты.

Технические характеристики

 

Серия Kolzer DGK

DGK24

DGK36

DGK48

DGK63

Диаметр рабочей камеры, мм

610

1000

1200

1600

Количество сателлитов, шт.

6

4 / 6

6 / 12

6 / 12

Диаметр сателлитов, мм

170

330 / 280

360 / 220

500 / 300

Рабочая длина подвесок, мм

900

1005

1275

2000

Источники напыления, максимально, шт.

2

3

3

4

Нагрев образцов

опционально

Подача технологических газов

РРГ

Время достижения вакуума 5х10-4мбар, мин

2

4

4

4

Предельный вакуум, мбар

1 х 10-5

1 х 10-5

1 х 10-5

1 х 10-5

Форвакуумный насос, м3/час

120

250

520

800

Насос Рутса м3/час

1000

2000

3000

4000

Диффузионный насос, л/сек

5000

2 х 5000

2 х 23000

2 х 26000

Турбомолекулярный насос

опционально

Автоматическое выполнение технологического цикла

стандартно

Подключенная мощность, кВт

12

30

40

48

Номинальная мощность, кВт

6,5

15

20,5

24

Приблизительный вес, кг

1000

2000

4800

6000

Top