Регулятор расхода газа Veeco Piezocon стал отраслевым стандартом среди производителей полупроводников для точного мониторинга и воспроизводимого трансфера паров химических прекурсоров и легирующих газов в технологических процессах CVD и MOCVD.
Проверенная более, чем на пяти тысячах установок по всему миру, система Veeco Piezocon обеспечивает:
Улучшенную воспроизводимость процесса за счёт жёсткого контроля подачи технологических газов и химических паров прекурсоров.
Снижение эксплуатационных расходов за счёт более эффективного использования химических прекурсоров
Устранение неисправностей систем подачи газа и пара с помощью встроенных диагностических утилит.
