Оборудование для хранения, подачи, распределения и смешения технологических газов

Piezocon

Регулятор расхода газа Veeco Piezocon стал отраслевым стандартом среди производителей полупроводников для точного мониторинга и воспроизводимого трансфера паров химических прекурсоров и легирующих газов в технологических процессах CVD и MOCVD.

Проверенная более, чем на пяти тысячах установок по всему миру, система Veeco Piezocon обеспечивает:

  • Улучшенную воспроизводимость процесса за счёт жёсткого контроля подачи технологических газов и химических паров прекурсоров.

  • Снижение эксплуатационных расходов за счёт более эффективного использования химических прекурсоров

  • Устранение неисправностей систем подачи газа и пара с помощью встроенных диагностических утилит.

Top