Турбомолекулярные насосы

Apex

Veeco Apex - комплексное решение для высокоточного смешивания и подачи газов.

Система смешивания газов Veeco Apex, оснащённая проверенным датчиком концентрации газа Piezocon от Veeco, позволяет снижать производственные затраты за счёт потребления газов с более высокой концентрацией и последующего локального разбавления. Использование Piezocon для измерения и контроля смеси в режиме реального времени устраняет проблемы повышенного расхода, связанные с использованием смесителей с постоянным потоком. Стабильный выход и точный контроль концентрации газа позволяют Apex увеличивать время безотказной работы технологического оборудования, устраняя необходимость повторной поверки после каждой замены газового баллона, сокращая, а в некоторых случаях полностью исключая время простоя системы.

  • Повышение воспроизводимости в 10 и более раз по сравнению с отдельными газовыми баллонами.

  • Снижение затрат на закупку газа не менее, чем на 60%.

  • Лёгкая интеграция с существующими производственными системами.

  • Единственная система смешивания газов, в которой используется датчик концентрации газа Piezocon для контроля уровня ppm.

Top