ЧИСТЫЕ ГАЗЫ

Оборудование для хранения, подачи, распределения и смешения технологических газов

Передовые решения трансфера технологических газов

Технологические процессы производства полупроводниковых компонентов требуют наличия сред сверхвысокой чистоты. Veeco производит системы подачи и смешения газов, обеспечивающие условия проведения процессов, соответствующие стандартам современного полупроводникового производства. Они управляются в режиме реального времени, обеспечивают высокую точность и воспроизводимость, а также снижают стоимость владения оборудованием.

Veeco
Apex

Apex

Системы смешения и подачи газов

Piezocon

Piezocon

Регуляторы расхода газа

Top