Турбомолекулярные насосы
Газораспределительные шкафы Dominus™ VMB Systems обеспечивают надежное и безопасное распределение газов и газовых смесей. Шкаф может включать до восьми отдельных линий доставки газа из одной линии подачи. В качестве опций доступны вакуумный генератор и продувка азотом, что обеспечивает безопасную и эффективную продувку линий при обслуживании. Газораспределительные системы VMB могут быть сконфигурированы как для полностью автоматической работы, так и для полуавтоматической и ручной.
Распределительная система может быть выполнена в виде панели для инертных газов, или в виде кабинета для систем, где требуется вытяжка.
Системный контроллер варьируется в зависимости от степени автоматизации и коммуникаций пользователя.
Семейство контроллеров включает модификацию с ручным управлением как бюджетный вариант для простых систем, также модификации с полуавтоматическим и полностью автоматическим управлением распределением газа, вентиляцией и продувкой
Возможные опции для газораспеделительных систем
Dominus™ VMB Systems:
Корпус кабинета:
Опции безопасности:
Дополнительные аксессуары: