Системы очистки отработанных газов для микроэлектронных производств

SPECTRA

Системы Spectra c сжиганием (окислением) отработанных газов — это экономичное, надежное и высокоэффективное решение с низкими эксплуатационными затратами.
Уникальная четырехступенчатая система сжигания, используемая в системах Spectra обеспечивает надежное окисление в середине зоны камеры сгорания. Оксидные порошки, образующиеся при сгорании металлоорганических соединений, захватываются потоком охлаждающего воздуха, который подается в систему Spectra со скоростью 10 м/с. Далее этот воздушный поток направляется в систему вытяжки. Такая конструкция с воздушным охлаждением обеспечивает эффективную транспортировку побочных продуктов и отсутствие осаждения на соплах камеры сгорания Spectra. Нейтрализованная смесь подается затем на общий производственный скруббер или пылевой фильтр.

Компания Edwards выпускает системы двух типов: Spectra-G и Spectra-Z.

  • Системы Spectra-G подходят для обработки газов технологических процессов MOCVD. Эти процессы включают использование высоких потоков H2 и NH3. В системах Spectra-G используется горючесть, присущая этим газам, для минимизации использования внешнего топлива, необходимого для завершения газовых реакций (окисление). Система Spectra-G может иметь до шести независимых входных портов, что гарантирует отсутствие предварительного смешивания несовместимых газов, тем самым снижая капитальные и эксплуатационные расходы. Система подходит для обработки H2, NH3, TMGa, TMAI, TMln.
  • Система Spectra-Z спроектирована для обработки газов при процессах производства солнечных батарей, плоских дисплеев (FPD) и прочих полупроводниковых приборов, в которых используются высокие потоки силана и других гидридных газов. Система подходит для обработки SiH4, B,2H6, SiH2Cl2, PH3, H2, NH3, CO, NF3, F2, TEOS.

Основные преимущества систем Spectra

  • Минимальное потребление топливного газа для полной обработки технологических газов
  • До 6-ти технологических входов
  • Отсутствие необходимости в воде или кислороде
  • Низкое энергопотребление
  • Низкое потребление азота
  • Надежная работа с газами, образующими наночастицы и порошки

Технические характеристики

 

Spectra G-800

Spectra Z-800

Spectra Z-3000

Максимальный поток газа, ст. л/мин

800

800

3000

Количество входных портов

от 1 до 6

от 1 до 6

от 1 до 6

Электропитание

200-208 В, 3ф

200-208 В, 3ф

200-208 В, 3ф

Частота, Гц

50/60

50/60

50/60

Потребляемая мощность, кВт

4

4

6

Давление азота, бар

6 - 8

6 – 8

6 - 8

Давление топливного газа, мбар

137

137

137

Вытяжная вентиляция, м3/мин

60

60

180

Масса, кг

850

850

1450

Top