Турбомолекулярные насосы
Системы Spectra c сжиганием (окислением) отработанных газов — это экономичное, надежное и высокоэффективное решение с низкими эксплуатационными затратами.
Уникальная четырехступенчатая система сжигания, используемая в системах Spectra обеспечивает надежное окисление в середине зоны камеры сгорания. Оксидные порошки, образующиеся при сгорании металлоорганических соединений, захватываются потоком охлаждающего воздуха, который подается в систему Spectra со скоростью 10 м/с. Далее этот воздушный поток направляется в систему вытяжки. Такая конструкция с воздушным охлаждением обеспечивает эффективную транспортировку побочных продуктов и отсутствие осаждения на соплах камеры сгорания Spectra. Нейтрализованная смесь подается затем на общий производственный скруббер или пылевой фильтр.
Компания Edwards выпускает системы двух типов: Spectra-G и Spectra-Z.
Основные преимущества систем Spectra
|
Spectra G-800 |
Spectra Z-800 |
Spectra Z-3000 |
Максимальный поток газа, ст. л/мин |
800 |
800 |
3000 |
Количество входных портов |
от 1 до 6 |
от 1 до 6 |
от 1 до 6 |
Электропитание |
200-208 В, 3ф |
200-208 В, 3ф |
200-208 В, 3ф |
Частота, Гц |
50/60 |
50/60 |
50/60 |
Потребляемая мощность, кВт |
4 |
4 |
6 |
Давление азота, бар |
6 - 8 |
6 – 8 |
6 - 8 |
Давление топливного газа, мбар |
137 |
137 |
137 |
Вытяжная вентиляция, м3/мин |
60 |
60 |
180 |
Масса, кг |
850 |
850 |
1450 |