Системы Spectra c сжиганием (окислением) отработанных газов — это экономичное, надежное и высокоэффективное решение с низкими эксплуатационными затратами.
Уникальная четырехступенчатая система сжигания, используемая в системах Spectra обеспечивает надежное окисление в середине зоны камеры сгорания. Оксидные порошки, образующиеся при сгорании металлоорганических соединений, захватываются потоком охлаждающего воздуха, который подается в систему Spectra со скоростью 10 м/с. Далее этот воздушный поток направляется в систему вытяжки. Такая конструкция с воздушным охлаждением обеспечивает эффективную транспортировку побочных продуктов и отсутствие осаждения на соплах камеры сгорания Spectra. Нейтрализованная смесь подается затем на общий производственный скруббер или пылевой фильтр.
Компания Edwards выпускает системы двух типов: Spectra-G и Spectra-Z.
- Системы Spectra-G подходят для обработки газов технологических процессов MOCVD. Эти процессы включают использование высоких потоков H2 и NH3. В системах Spectra-G используется горючесть, присущая этим газам, для минимизации использования внешнего топлива, необходимого для завершения газовых реакций (окисление). Система Spectra-G может иметь до шести независимых входных портов, что гарантирует отсутствие предварительного смешивания несовместимых газов, тем самым снижая капитальные и эксплуатационные расходы. Система подходит для обработки H2, NH3, TMGa, TMAI, TMln.
- Система Spectra-Z спроектирована для обработки газов при процессах производства солнечных батарей, плоских дисплеев (FPD) и прочих полупроводниковых приборов, в которых используются высокие потоки силана и других гидридных газов. Система подходит для обработки SiH4, B,2H6, SiH2Cl2, PH3, H2, NH3, CO, NF3, F2, TEOS.
Основные преимущества систем Spectra
- Минимальное потребление топливного газа для полной обработки технологических газов
- До 6-ти технологических входов
- Отсутствие необходимости в воде или кислороде
- Низкое энергопотребление
- Низкое потребление азота
- Надежная работа с газами, образующими наночастицы и порошки
Технические характеристики
|
|
Spectra G-800 |
Spectra Z-800 |
Spectra Z-3000 |
|
Максимальный поток газа, ст. л/мин |
800 |
800 |
3000 |
|
Количество входных портов |
от 1 до 6 |
от 1 до 6 |
от 1 до 6 |
|
Электропитание |
200-208 В, 3ф |
200-208 В, 3ф |
200-208 В, 3ф |
|
Частота, Гц |
50/60 |
50/60 |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт |
4 |
4 |
6 |
|
Давление азота, бар |
6 - 8 |
6 – 8 |
6 - 8 |
|
Давление топливного газа, мбар |
137 |
137 |
137 |
|
Вытяжная вентиляция, м3/мин |
60 |
60 |
180 |
|
Масса, кг |
850 |
850 |
1450 |