Системы очистки отработанных газов для микроэлектронных производств

ATLAS

Системы очистки Atlas™ совмещают технологию сжигания отработанных газов и их последующую жидкостную доочистку. Уникальная технология, разработанная компанией Edwards, включает в себя камеру запатентованной конструкции Alzeta™ с круговой инжекцией пропана и потоком, направленным внутрь камеры. Благодаря этому в камере точно поддерживается равномерное распределение температуры, что обеспечивает надежный распад и окисление молекул отработанной смеси. Образованная в результате термической обработки газовая смесь и продукты сгорания проходят через блок жидкостной обработки, в котором происходит окончательная очистка продуктов сгорания и растворимых газов.

Системы Atlas™ выпускаются в разных модификациях для нескольких классов технологических процессов

  • Atlas TCS для установок осаждения, использующих NF3 и F2
  • Atlas TPU для установок осаждения, использующих перфторуглеродные (PFC) газы ClF3, C2F6, C3F8
  • Atlas Kronis для установок осаждения перспективных диэлектриков с низкой диэлектрической проницаемостью (low-k dielectrics)
  • Atlas Etch для установок травления, использующих CF4, SF6 и PFC с высоким расходом
  • Atlas Helios для установок MOCVD и безопасной работы с большими потоками водорода

Особенностью систем Atlas™ является малое потребление топлива, и устройство рециркуляции воды, позволяющим уменьшить ее потребление, что совместно обеспечивает низкие эксплуатационные затраты.

Основные преимущества систем Atlas™:

  • До 6 независимых входов
  • До 600 л/мин входного потока отработанных технологических газов
  • До 250 л/мин входного потока по водороду
  • Автоматическая система поддержания температуры в реакционной зоне
  • Tермостатирование входов (TMS), байпасных выходов, для предотвращения осаждения легкоконденсирующихся газов до реакционной камеры
  • Программируемая система управления и отображения информации о состоянии системы с сенсорным дисплеем
  • Разбавление азотом отработанных технологических газов при аварийном перенаправлении на байпасные выходы

Технические характеристики

Питание

220 В, 50 Гц, 1ф

Потребляемая мощность в стационарном режиме, кВт

1.5

Количество независимых входов

в соответствии с конфигурацией

Входной, байпасный фланцы

NW40

Выходной фланец, мм

75

Вытяжная вентиляция, диаметр, мм

150

Потребление пропана в стационарном режиме, л/мин

до 8

Габаритные размеры, мм

1300х625х2220

Требования к месту установки

Температура окружающей среды, оС

5 – 40

Влажность, %

30 – 95

Вытяжная вентиляция для устройства, м3/час, не менее

100

Вытяжная вентиляция для газа, л/мин

500 под давление 1.24∙103 Па

Давление газообразного пропана, атм

1.1 - 1.5

Давление газообразного кислорода, атм (для некоторых моделей)

2 - 4

Давление газообразного азота, атм

6 - 8

Давление сжатого воздуха, атм (для некоторых моделей)

6 - 8

Давление воды, атм

1.5 – 4

Расход воды, л/мин

8 - 10

Top