ATLAS

Системы очистки Atlas™ совмещают технологию сжигания отработанных газов и их последующую жидкостную доочистку. Уникальная технология, разработанная компанией Edwards, включает в себя камеру запатентованной конструкции Alzeta™ с круговой инжекцией пропана и потоком, направленным внутрь камеры. Благодаря этому в камере точно поддерживается равномерное распределение температуры, что обеспечивает надежный распад и окисление молекул отработанной смеси. Образованная в результате термической обработки газовая смесь и продукты сгорания проходят через блок жидкостной обработки, в котором происходит окончательная очистка продуктов сгорания и растворимых газов.

Системы Atlas™ выпускаются в разных модификациях для нескольких классов технологических процессов

• Atlas TCS для установок осаждения, использующих NF₃ и F₂
• Atlas TPU для установок осаждения, использующих перфторуглеродные (PFC) газы ClF₃, C₂F₆, C₃F₈
• Atlas Kronis для установок осаждения перспективных диэлектриков с низкой диэлектрической проницаемостью (low-k dielectrics)
• Atlas Etch для установок травления, использующих CF₄, SF₆ и PFC с высоким расходом
• Atlas Helios для установок MOCVD и безопасной работы с большими потоками водорода

Особенностью систем Atlas™ является малое потребление топлива, и устройство рециркуляции воды, позволяющим уменьшить ее потребление, что совместно обеспечивает низкие эксплуатационные затраты.

Основные преимущества систем Atlas™:

• До 6 независимых входов
• До 600 л/мин входного потока отработанных технологических газов
• До 250 л/мин входного потока по водороду
• Автоматическая система поддержания температуры в реакционной зоне
• Tермостатирование входов (TMS), байпасных выходов, для предотвращения осаждения легкоконденсирующихся газов до реакционной камеры
• Программируемая система управления и отображения информации о состоянии системы с сенсорным дисплеем
• Разбавление азотом отработанных технологических газов при аварийном перенаправлении на байпасные выходы