ION-BREEZE - высокочастотный односеточный ионный источник с самоскомпенсированным ионным пучком
Источник ION_BREEZE предназначен для использования в процессах ионно-лучевого ассистирования, плазменного травления, очистки, плазмохимического травления, распыления и др.
Обеспечивает генерацию квазинейтрального (самоскомпенсированного) ионного пучка с плотностью ионного тока 0.5-6 мА/см2 и энергией ионов 10-220 эВ.
Представляет собой ионный источник с односеточной ионно-оптической системой и высокочастотным индуктивным разрядом.
Основные достоинства
- Самоскомпенсированный ионный пучок, не требует нейтрализатора заряда
- Высокая плотность ионного тока
- Гибкость управления энергией ионов
- Встроенное согласующее устройство
- Простая настройка через проводной интерфейс
Технические характеристики
| ION BREEZE | ПАРАМЕТР |
| Апертура | 80, 160, 290 мм |
| Плотность ионного тока на срезе | 0.5–6 мA/см2 |
| Энергия ионов | 10–220 эВ |
| Рабочий диапазон давлений | 0.03-0.1 Па |
| Частота накачки | 13.56 МГц |
| Система согласования нагрузки | Автоматическая/ручная |
| Монтажный фланец | DN 160; 250; 400 ISO-K |