ION-TYPHOON

ION-TYPHOON - Ионные источники для ионно-лучевого травления и осаждения

ION-TYPHOON – высокочастотный сеточный ионный источник, предназначенный для ионно-лучевого распыления, ассистирования и травления. Ионы экстрагируются сеточной ионно-оптической системой из плазмы индуктивного разряда. Использование высокочастотной плазмы значительно увеличивает время непрерывной работы ионного источника, которое может достигать сотен часов, а также позволяет работать с химически активными газами.
Ионно-оптическая система обеспечивает независимое управление плотностью ионного тока и энергией ионов значительно расширяющие технологические возможности источника. Предлагаются системы с двух и трёх-сеточной оптикой. Геометрия и материал ионно-оптической системы выбираются исходя из требований технологического процесса. При ионном распылении используется фокусирующая ионно-оптическая система, которая обеспечивает локальный рост плотности ионного тока в области распыления. При ионном ассистировании используется рассеивающая ионно-оптическая система, которая позволяет равномерно распределить ионный пучок по всей обрабатываемой поверхности. Для травления материалов чаще всего используется коллимированный ионный пучок, который обеспечивает наилучшую равномерность обработки. В качестве материала сеток могут выступать графит, молибден, титан, тантал и др.

Основные достоинства

• Высокая плотность ионного тока
• Длительное время работы
• Простота профилактики и обслуживания
• Встроенное автоматическое согласующее устройство
• Простая настройка через коммуникационный порт
• Поставка полного, согласованного комплекта блоков питания, нейтрализатора и контроллера