Высококачественные источники для ионного травления и осаждения
Основным направлением деятельности компании Freegy является разработка и изготовление промышленных высокочастотных плазменных систем вакуумного технологического оборудования и систем питания к ним.
Ионные источники, генераторы плазмы и высокочастотные системы питания применяются в технологии формирования оптических покрытий, микроэлектронике, производстве солнечных батарей, космической промышленности.
