Регуляторы давления Brooks Instrument построены с использованием решений, хорошо зарекомендовавших себя в конструкции регуляторов расхода газа.
Система управления с обратной связью обеспечивает отсутствие падения давления и гистерезиса обычно характерных для диафрагменных регуляторов. Регуляторы давления с металлическим уплотнением обеспечивают повышенную чистоту газа благодаря исключению проникновения кислорода через эластомеры и сокращению необходимого технического обслуживания.
- Серия SLA 7840 является регулятором расхода, который при подключении внешнего датчика давления, также может служить регулятором давления. Работает в широком диапазоне потоков и давлений.
- Серия PC100 – регуляторы давления для работы с особо чистыми газами. Оснащены цифровым управлением.
Технические характеристики
|
Параметр |
Серия PC 100 |
SLA 7840 |
|
Диапазон регулировки давления |
От 2 до 100% |
20:1 |
|
Диапазон расхода газа |
До 10 л/мин (для азота или водорода) |
Любые диапазоны от от 0 до 3 ст. см3/мин до от 0 до 30000 ст. см3/мин |
|
Точность |
Измерение давления: ± 1% от измеренного значения Контроль давления: ± 0.2% ПШ в диапазон <10% ПШ; ± 1% измеренного значения в диапазоне 10% -100% ПШ Измерение потока: ± 0.35% ПШ в диапазоне 2-35% ПШ; ± 1% измеренного значения в диапазоне >35% ПШ
|
±1% от УЗ в диапазоне 20-100% ПШ ±0.2% ПШ в диапазоне <20% ПШ.
|
|
Воспроизводимость |
<±0.2% ПШ |
<±0.2% УЗ |
|
Время срабатывания |
<1 сек |
<1 сек в диапазоне 20%-100% ПШ при максимальном превышении за шаг 2% |
|
Материал уплотнения |
Металл |
Металл |
|
Шероховатость поверхности |
0.127 микрон Ra |
0.8128 микрон Ra |
|
Диагностический порт |
Наличие |
Наличие |
|
Аналоговое управление, возможные диапазоны по току или напряжению |
нет |
0-5 В
|
|
Цифровой интерфейс |
DeviceNet ™ |
DeviceNet ™ |