Турбомолекулярные насосы

Регуляторы давления с эластомерным уплотнением

Регуляторы давления Brooks Instrument построены с использованием решений, хорошо зарекомендовавших себя в конструкции регуляторов расхода газа.
Являются экономичным и вместе с тем надежным и долговечным решением. Обеспечивают высокую точность и стабильность регулирования.
Система управления с обратной связью обеспечивает отсутствие падения давления и гистерезиса обычно характерных для диафрагменных регуляторов.
Версии регуляторов давления Brooks Instrument с выносным датчиком давления обеспечивают управление в диапазоне до 310 бар.

  • Регуляторы серии 5866RT работают с выносным датчиком давления и обеспечивают регулирование давления и измерение потока
  • Серия SLA общего применения обеспечивает высокую точность и долговечность, позволяет выбрать прибор из широкого списка опций, полностью совместима с регуляторами расхода газа серии SLA
  • Серия SLAMf спроектирована в защищенном корпусе по стандарту NEMA4X/IP66 и разрешена к использованию в опасных зонах

Технические характеристики

5866RT

SLA 10/20/40

SLAMf 10/20

Диапазон контроля давления

100:1 (при использовании удаленного датчика давления с выходом 0-10 В)

100:1 для ПШ по потоку 1-50 л/мин

50:1 для всех остальных потоков

100:1 для ПШ по потоку 1-50 л/мин

50:1 для всех остальных потоков

Диапазон расхода

любой диапазон от 0-3 до 0-30000 ст.см3/мин (по N2)

.003 - 50 л/мин

.003 - 50 л/мин

Точность

точность по потоку:

1% от ПШ

1.5% ПШ для потока более 20 ст.см3/мин

точность по давлению:

0.25% ПШ преобразователя давления (ПШ> 20 бар)

0.12% ПШ преобразователя давления (ПШ <20 бар)

точность по давлению:

0.25% ПШ преобразователя давления (ПШ> 20 бар)

0.12% ПШ преобразователя давления (ПШ <20 бар)

Воспроизводимость

0.25% УЗ

0.20% ПШ

0.20% ПШ

Диагностический порт

нет

опционально

опционально

Аналоговое управление, возможные диапазоны по току или напряжению

0-5 В

0-5 В, 1-5 В, 0-10 В, 0-20 мА, 4-20 мА

0-5 В, 1-5 В, 0-10 В, 0-20 мА, 4-20 мА

Цифровой интерфейс

нет

DeviceNet™, Profibus®, RS-485

DeviceNet™, Profibus®, RS-485

УЗ- установленное значение (set point)
ПШ – полная шкала (full scale)

Скачать

Top