Турбомолекулярные насосы
Регуляторы давления Brooks Instrument построены с использованием решений, хорошо зарекомендовавших себя в конструкции регуляторов расхода газа.
Являются экономичным и вместе с тем надежным и долговечным решением. Обеспечивают высокую точность и стабильность регулирования.
Система управления с обратной связью обеспечивает отсутствие падения давления и гистерезиса обычно характерных для диафрагменных регуляторов.
Версии регуляторов давления Brooks Instrument с выносным датчиком давления обеспечивают управление в диапазоне до 310 бар.
|
5866RT |
SLA 10/20/40 |
SLAMf 10/20 |
Диапазон контроля давления |
100:1 (при использовании удаленного датчика давления с выходом 0-10 В) |
100:1 для ПШ по потоку 1-50 л/мин 50:1 для всех остальных потоков |
100:1 для ПШ по потоку 1-50 л/мин 50:1 для всех остальных потоков |
Диапазон расхода |
любой диапазон от 0-3 до 0-30000 ст.см3/мин (по N2) |
.003 - 50 л/мин |
.003 - 50 л/мин |
Точность |
точность по потоку: 1% от ПШ 1.5% ПШ для потока более 20 ст.см3/мин |
точность по давлению: 0.25% ПШ преобразователя давления (ПШ> 20 бар) 0.12% ПШ преобразователя давления (ПШ <20 бар) |
точность по давлению: 0.25% ПШ преобразователя давления (ПШ> 20 бар) 0.12% ПШ преобразователя давления (ПШ <20 бар) |
Воспроизводимость |
0.25% УЗ |
0.20% ПШ |
0.20% ПШ |
Диагностический порт |
нет |
опционально |
опционально |
Аналоговое управление, возможные диапазоны по току или напряжению |
0-5 В |
0-5 В, 1-5 В, 0-10 В, 0-20 мА, 4-20 мА |
0-5 В, 1-5 В, 0-10 В, 0-20 мА, 4-20 мА |
Цифровой интерфейс |
нет |
DeviceNet™, Profibus®, RS-485 |
DeviceNet™, Profibus®, RS-485 |
УЗ- установленное значение (set point)
ПШ – полная шкала (full scale)