Турбомолекулярные насосы

Регуляторы расхода с эластомерным уплотнением

Регуляторы расхода с эластомерным уплотнением Brooks Instrument отличаются высокой точность, стабильностью и воспроизводимостью параметров что представляет прекрасную возможность подобрать оптимальный и экономичный вариант решения задачи. Широкий выбор цифровых и аналоговых интерфейсов обеспечивает необходимую гибкость при выборе, а также позволяет использовать регуляторы Brooks Instrument в случае необходимости замены регуляторов других производителей.
В линейке продуктов представлено несколько серий с уникальными особенностями:

  • Серия SLA общего применения обеспечивает высокую точность и долговечность, позволяет выбрать прибор из широчайшего диапазона расходов газа
  • Регуляторы GF40 обеспечивают высокую точность и включает запатентованную технологию MultiFlo ™, позволяющую использовать регулятор для различных газов без перекалибровки
  • Серия E/I c улучшенными характеристиками и коррозионной стойкостью
  • Серия SLAMf спроектирована в защищенном корпусе по стандарту NEMA4X/IP66 и разрешена к использованию в опасных зонах
  • Серия 48 предназначена для использования с неагрессивными газами, обладает сверхбыстрым откликом и может оснащаться дополнительным локальным интерфейсом оператора

Основные области применения регуляторов с эластомерным уплотнением включают:

  • установки вакуумного осаждения
  • установки термической резки, термообработки и т.п.
  • установки химического и нефтехимического анализа
  • биореакторы
  • аналитические и лабораторные системы, вакуумные системы

Мы всегда рады помочь с выбором оптимального регулятора Brooks Instrument по Вашему запросу.

Технические характеристики


Серия SLA

GF40

Серия 5850E/I

Серия SLAMf

Серия 48ХХ

Диапазон расхода газа

.003 - 2500 л/мин

3 ст.см3/мин - 50 л/мин

0 - 1000 л/мин

.003 - 2500 л/мин

50 см3/мин - 40 л/мин

Максимальное давление

103 бар (до 200 л/мин)

70 бар (100 - 2500 л/мин)

310 бар (опциональное исполнение)

10 бар

100 бар

100 бар (до 100 л/мин)

70 бар (100 - 2500 л/мин)

310 бар (опциональное исполнение до 50 л/мин)

10 бар

Точность

0.9% УЗ (в диапазоне 20-100% ПШ)

0.18% УЗ (в диапазоне 2- 20% ПШ)

0.18% УЗ для 1-50 л/мин (в диапазоне 1-20% ПШ)

1.0% ПШ для 1100 - 2500 л/мин

1% УЗ (в диапазоне 35-100% ПШ)

0.35% ПШ (в диапазоне2-35% ПШ)

1% ПШ

1,5% ПШ для > 20 л/мин

0.90% УЗ до 100 л/мин (в диапазоне 20-100% ПШ)

0.18% ПШ (в диапазоне 2-20% ПШ, для 1-50 л/мин в диапазоне 1-20% ПШ)

0.90% УЗ для 100 - 2500 л/мин (в диапазоне 20-100% ПШ)

0.18% ПШ для 100 - 1100 л/мин (в диапазоне 2-20% ПШ)

1.0% от ПШ для 1100 - 2500 л/мин

3.0% ПШ

1.0% ПШ (опциональное исполнение)

Воспроизводимость

0.20% ПШ

0.20% ПШ

0.25% УЗ

0.20% ПШ

0.15% ПШ

Возможность перекалибровки по газу и потоку

стандарт

MultiFlo ™

-

стандарт

-

Диагностический порт

опционально

опционально

нет

опционально

опционально

Аналоговое управление, возможные диапазоны по току или напряжению

0-5 В, 1-5 В, 0-10 В, 0-20 мА, 4-20 мА

0-5 В, 0-10 В, 0-20 мА, 4-20 мА

0-5 В, 0-20 мА, 4-20 мА

0-5 В, 1-5 В, 0-10 В, 0-20 мА, 4-20 мА

0-5 В, 4-20 мА

Цифровой интерфейс

DeviceNet™, EtherCAT®, EtherNet/IP™, FOUNDATION™, Fieldbus, Profibus®, PROFINET, RS-485

DeviceNetTM, EtherCAT®, Profibus®, RS-485

нет

DeviceNet™, EtherCAT®, EtherNet/IP™, FOUNDATION™, Fieldbus, Profibus®, PROFINET, RS-485

RS-232

УЗ- установленное значение (set point)
ПШ – полная шкала (full scale)

Скачать

Top