Турбомолекулярные насосы
Регуляторы расхода с эластомерным уплотнением Brooks Instrument отличаются высокой точность, стабильностью и воспроизводимостью параметров что представляет прекрасную возможность подобрать оптимальный и экономичный вариант решения задачи. Широкий выбор цифровых и аналоговых интерфейсов обеспечивает необходимую гибкость при выборе, а также позволяет использовать регуляторы Brooks Instrument в случае необходимости замены регуляторов других производителей.
В линейке продуктов представлено несколько серий с уникальными особенностями:
Основные области применения регуляторов с эластомерным уплотнением включают:
Мы всегда рады помочь с выбором оптимального регулятора Brooks Instrument по Вашему запросу.
|
Серия SLA |
GF40 |
Серия 5850E/I |
Серия SLAMf |
Серия 48ХХ |
Диапазон расхода газа |
.003 - 2500 л/мин |
3 ст.см3/мин - 50 л/мин |
0 - 1000 л/мин |
.003 - 2500 л/мин |
50 см3/мин - 40 л/мин |
Максимальное давление |
103 бар (до 200 л/мин) 70 бар (100 - 2500 л/мин) 310 бар (опциональное исполнение) |
10 бар |
100 бар |
100 бар (до 100 л/мин) 70 бар (100 - 2500 л/мин) 310 бар (опциональное исполнение до 50 л/мин) |
10 бар |
Точность |
0.9% УЗ (в диапазоне 20-100% ПШ) 0.18% УЗ (в диапазоне 2- 20% ПШ) 0.18% УЗ для 1-50 л/мин (в диапазоне 1-20% ПШ) 1.0% ПШ для 1100 - 2500 л/мин |
1% УЗ (в диапазоне 35-100% ПШ) 0.35% ПШ (в диапазоне2-35% ПШ) |
1% ПШ 1,5% ПШ для > 20 л/мин |
0.90% УЗ до 100 л/мин (в диапазоне 20-100% ПШ) 0.18% ПШ (в диапазоне 2-20% ПШ, для 1-50 л/мин в диапазоне 1-20% ПШ) 0.90% УЗ для 100 - 2500 л/мин (в диапазоне 20-100% ПШ) 0.18% ПШ для 100 - 1100 л/мин (в диапазоне 2-20% ПШ) 1.0% от ПШ для 1100 - 2500 л/мин |
3.0% ПШ 1.0% ПШ (опциональное исполнение) |
Воспроизводимость |
0.20% ПШ |
0.20% ПШ |
0.25% УЗ |
0.20% ПШ |
0.15% ПШ |
Возможность перекалибровки по газу и потоку |
стандарт |
MultiFlo ™ |
- |
стандарт |
- |
Диагностический порт |
опционально |
опционально |
нет |
опционально |
опционально |
Аналоговое управление, возможные диапазоны по току или напряжению |
0-5 В, 1-5 В, 0-10 В, 0-20 мА, 4-20 мА |
0-5 В, 0-10 В, 0-20 мА, 4-20 мА |
0-5 В, 0-20 мА, 4-20 мА |
0-5 В, 1-5 В, 0-10 В, 0-20 мА, 4-20 мА |
0-5 В, 4-20 мА |
Цифровой интерфейс |
DeviceNet™, EtherCAT®, EtherNet/IP™, FOUNDATION™, Fieldbus, Profibus®, PROFINET, RS-485 |
DeviceNetTM, EtherCAT®, Profibus®, RS-485 |
нет |
DeviceNet™, EtherCAT®, EtherNet/IP™, FOUNDATION™, Fieldbus, Profibus®, PROFINET, RS-485 |
RS-232 |
УЗ- установленное значение (set point)
ПШ – полная шкала (full scale)