ГАЗОВЫЕ ПОТОКИ

Регуляторы давления, регуляторы и измерители расхода, датчики давления

Емкостные вакуумметры

Емкостные вакуумметры

Емкостные вакуумметры широко применяются в исследовательских и промышленных установках для измерения давления сложных смесей технологических газов. Показания вакуумметров такого типа не зависят от газового состава и не требуют отдельной калибровки чувствительности, т.е. являются газонезависимыми.
Инновационные решения, применяемые в вакуумметрах Brooks Instrument, обеспечивают исключительную надежность и точность измерений. Конструкция вакуумметров обеспечивает высокую стойкость диафрагмы к загрязнениям и минимальный дрейф показаний.

Серия прогреваемых вакуумметров XacTorr CMX обладает наилучшими характеристиками по точности и воспроизводимости измерений. Цифровая обработка сигнала и калибровка исключают значительную часть дрейфов, связанных с электронными элементами датчика. Двухзонный нагреватель обеспечивает максимальную температурную стабильность измерений. Вакуумметры выпускаются в нескольких вариантах исполнения системы термостабилизации: 45°C, 100°C, 160°C или без нагрева. В конструкции запатентованного датчика Mark-IV предусмотрены поверхности для осаждения микрочастиц и паров конденсирующихся газов что продлевает срок службы датчика и увеличивает время стабильной работы между перекалибровками нулевых показаний.

Серия компактных вакуумметров CMC спроектирована в виде цельносварной, не нагреваемой конструкции с диафрагмой из сплава Inconel®. Температурная компенсация показаний осуществляется встроенной электроникой. Уменьшенные размеры корпуса вакуумметра обеспечивают высокую совместимость при замене устаревшего или вышедшего из строя датчика на находящемся в эксплуатации оборудовании.

Технические характеристики


Серия CMC

Серия CMX

Верхний предел измерений

10, 20, 50, 100, 500, 1000 торр

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 торр

Диапазон измерений

4 декады

4 декады

Точность измерений

Тип А = 0.25% от показания

Тип B = 0.50% от показания

0.25% от показания (CMX0)

0.15% от показания (CMX1, CMX2 верхний предел 1-1000 торр)

0.25% от показания (CMX1, CMX2 верхний предел <1 торр)

Температура датчика

окружающей среды

CMX0 окружающей среды

CMX1 45 °С

CMX2 100 °C

CMX3 160 °C

Температурная стабильность

0.002% шкалы/°C (на нижнем пределе)

0.027% шкалы/°C (на верхнем пределе)

0.002% шкалы/°C (на нижнем пределе)

0.02% шкалы/°C (на верхнем пределе)

Материалы, контактирующие с вакуумным объемом

Inconel®

Inconel® и/или AISI 316L SS

Предел по абсолютному давлению

3 атм

1.15 атм или 125% от верхнего предела измерений (наибольшее значение)

Аналоговый интерфейс

0-10 В ПТ (нагрузка <10 кОм)

 0-10 В ПТ  (нагрузка 5 кОм)

Цифровой интерфейс

нет

DeviceNet ™

RS485

Требуемая мощность питания

< 200 мВт

2.6-22 Вт (зависит от модели)

Скачать

Top