Турбомолекулярные насосы
Емкостные вакуумметры широко применяются в исследовательских и промышленных установках для измерения давления сложных смесей технологических газов. Показания вакуумметров такого типа не зависят от газового состава и не требуют отдельной калибровки чувствительности, т.е. являются газонезависимыми.
Инновационные решения, применяемые в вакуумметрах Brooks Instrument, обеспечивают исключительную надежность и точность измерений. Конструкция вакуумметров обеспечивает высокую стойкость диафрагмы к загрязнениям и минимальный дрейф показаний.
Серия прогреваемых вакуумметров XacTorr CMX обладает наилучшими характеристиками по точности и воспроизводимости измерений. Цифровая обработка сигнала и калибровка исключают значительную часть дрейфов, связанных с электронными элементами датчика. Двухзонный нагреватель обеспечивает максимальную температурную стабильность измерений. Вакуумметры выпускаются в нескольких вариантах исполнения системы термостабилизации: 45°C, 100°C, 160°C или без нагрева. В конструкции запатентованного датчика Mark-IV предусмотрены поверхности для осаждения микрочастиц и паров конденсирующихся газов что продлевает срок службы датчика и увеличивает время стабильной работы между перекалибровками нулевых показаний.
Серия компактных вакуумметров CMC спроектирована в виде цельносварной, не нагреваемой конструкции с диафрагмой из сплава Inconel®. Температурная компенсация показаний осуществляется встроенной электроникой. Уменьшенные размеры корпуса вакуумметра обеспечивают высокую совместимость при замене устаревшего или вышедшего из строя датчика на находящемся в эксплуатации оборудовании.
|
Серия CMC |
Серия CMX |
Верхний предел измерений |
10, 20, 50, 100, 500, 1000 торр |
0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 торр |
Диапазон измерений |
4 декады |
4 декады |
Точность измерений |
Тип А = 0.25% от показания Тип B = 0.50% от показания |
0.25% от показания (CMX0) 0.15% от показания (CMX1, CMX2 верхний предел 1-1000 торр) 0.25% от показания (CMX1, CMX2 верхний предел <1 торр) |
Температура датчика |
окружающей среды |
CMX0 окружающей среды CMX1 45 °С CMX2 100 °C CMX3 160 °C |
Температурная стабильность |
0.002% шкалы/°C (на нижнем пределе) 0.027% шкалы/°C (на верхнем пределе) |
0.002% шкалы/°C (на нижнем пределе) 0.02% шкалы/°C (на верхнем пределе) |
Материалы, контактирующие с вакуумным объемом |
Inconel® |
Inconel® и/или AISI 316L SS |
Предел по абсолютному давлению |
3 атм |
1.15 атм или 125% от верхнего предела измерений (наибольшее значение) |
Аналоговый интерфейс |
0-10 В ПТ (нагрузка <10 кОм) |
0-10 В ПТ (нагрузка 5 кОм) |
Цифровой интерфейс |
нет |
DeviceNet ™ RS485 |
Требуемая мощность питания |
< 200 мВт |
2.6-22 Вт (зависит от модели) |