Вводы вращения и перемещения в вакуумных объемах

Линейные приводы с сильфонным уплотнением

Линейные приводы с сильфонным уплотнением (LSM) предлагают перемещение вдоль оси порта (Z) с ходом до 1000 мм и несколько вариантов диаметров свободного отверстия. Все устройства смонтированы на фланцах CF, выдерживают отжиг до температуры 250°C и совместимы со сверхвысоковакуумными установками. Сильфоны в стандартной комплектации изготовлены из нержавеющей стали 316L и обеспечивают минимальный расчетный срок службы 10 000 циклов. Доступны заказные устройства с расчетным сроком службы до 3 миллионов циклов. Каждое устройство может поставляться с цифровой линейной шкалой, обеспечивающей визуальную индикацию положения с разрешением 10 мкм.

Основные особенности

  • 2-кратное улучшение параллельности фланцев по сравнению с обычными конструкциями
  • 2-кратное увеличение переносимой нагрузки по сравнению с обычными конструкциями
  • Высокая плавность перемещения
  • Пожизненная гарантия на 10 000 циклов (опционально на 3 миллиона циклов)
  • Съемная сборка сильфона
  • Надежная и жесткая конструкция
  • Отжиг при температуре 250°C

Компактная серия линейного перемещения CLSM
Компактная серия CLSM предлагает самый короткое расстояние от подвижного фланца до перемещающегося фланца. Доступны различные варианты привода: с помощью ручного маховика, пневмоцилиндра, двигателя постоянного тока или шагового двигателя.

Стандартная серия линейного перемещения LSM/HLSM
Серия LSM — это наиболее полная серия типоразмеров в ассортименте, предлагающая наибольшее количество вариантов фланцев, длины хода и приводов. Фланцы CF38 и CF64 серии поставляются в стандартной комплектации с метрическими резьбовыми отверстиями для болтов.

Серия HLSM доступна в качестве альтернативы. Эта версия имеет свободные отверстия на монтажном фланце (фиксированном) и доступна с фланцами CF38, CF64, CF100 и CF150.

Серия линейного перемещения с интегрированным наклоном LSMT
Серия LSMT основана на стандартных устройствах LSM с дополнительной возможностью наклона подвижного фланца на +/- 2° для окончательного выравнивания портов. Обычно используется в лучевых системах для выравнивания датчиков диагностики или для выравнивания источников ионов. Регулировка осуществляется с помощью четырех резьбовых опорных валов. Все фланцы серии в стандартной комплектации поставляются с резьбовыми отверстиями для болтов на базовом фланце.

Серия линейного перемещения с интегрированным смещением поперек оси LSMX
Серия LSMX предлагает линейное перемещение вдоль оси порта (Z) с дополнительным устройством для регулировки перемещающегося фланца в боковом направлении (ось X) на +/-5 мм для облегчения выравнивания. Угол перемещаемого фланца остается постоянным на всем разбеге перемещения. Серия может оснащаться ручным маховиком, пневмоцилиндром, двигателем постоянного тока или шаговым двигателем.

Серия линейного перемещения с увеличенным ходом HLSML
Серия HLSML обеспечивает ход до 1000 мм (39 дюймов) с высокой точностью перемещения, поддерживаемой на протяжении всего хода. Данная серия также может использоваться для приложений, требующих максимальной стабильности и точности перемещения. Серия может приводиться в действие с помощью ручного маховика, двигателя постоянного тока или шагового двигателя. Моторизованные HLSML оснащены стойкими к вакуумному отжигу концевыми выключателями. Устройства HLSMLs совместимы с линейкой контроллеров SADC и шаговых двигателей UHV Design.

Высокоскоростная серия линейного перемещения PLSML
Серия PLSM разработана для решения самых сложных задач с повышенными требованиями к надежности и скорости перемещения. Сверхжесткая конструкция обеспечивает минимальный прогиб консоли (<1 мрад под нагрузкой), приводной механизм с линейными направляющими способен обеспечивать скорость перемещения до 100 мм/с, конструкция сильфонов гарантирует более чем 50 000 рабочих циклов (опционально 1 миллион циклов). Типичными применениями данной серии являются высокоскоростные сканеры и устройства промышленной автоматизации.

Технические характеристики

Серия

Конфигуратор стандартной серии (ссылка)

Фланец подвижный

Фланец фиксированный

Проходное отверстие

Диапазон хода

Максимальная аксиальная нагрузка

Максимальный консольный момент

CLSM

CLSM

FC38 (2-3/4”)

FC38 (2-3/4”)

38 мм

25-150 мм

150 Н

10 Нм

LSM/HLSM

LSM38/HLSM38

FC38 (2-3/4”)

FC38 (2-3/4”)

38 мм

25-300 мм

150 Н

10 Нм

LSM64/HLSM64

FC64 (4-1/2”)

FC64 (4-1/2”)

65 мм

25-300 мм

245 Н

10 Нм

HLSM100

FC100 (6”)

FC100 (6”)

102 мм

25-300 мм

200 Н

10 Нм

HLSM150

FC150 (8”)

FC150 (8”)

150 мм

25-300 мм

200 Н

10 Нм

LSMT

LSMT38

FC38 (2-3/4”)

FC38 (2-3/4”)

38 мм

25-150 мм

150 Н

10 Нм

LSMT64

FC64 (4-1/2”)

FC64 (4-1/2”)

65 мм

25-150 мм

245 Н

10 Нм

LSMX

LSMT38

FC38 (2-3/4”)

FC38 (2-3/4”)

38 мм

25-150 мм

150 Н

10 Нм

LSMT64

FC64 (4-1/2”)

FC64 (4-1/2”)

65 мм

25-150 мм

245 Н

10 Нм

HLSML

HLSML38

FC38 (2-3/4”)

FC38 (2-3/4”)

38 мм

200-800 мм

150 Н

10 Нм

HLSML64

FC64 (4-1/2”)

FC64 (4-1/2”)

65 мм

300-1000 мм

245 Н

10 Нм

PLSML

PLSML38

CF38

CF38

По запросу

50-300 мм

По запросу

По запросу

PLSML64

CF64

CF64

По запросу

50-300 мм

По запросу

По запросу

PLSML100

CF100

CF100

По запросу

50-350 мм

По запросу

По запросу


Скачать

Top