Линейные приводы с сильфонным уплотнением

Линейные приводы с сильфонным уплотнением (LSM) предлагают перемещение вдоль оси порта (Z) с ходом до 1000 мм и несколько вариантов диаметров свободного отверстия. Все устройства смонтированы на фланцах CF, выдерживают отжиг до температуры 250°C и совместимы со сверхвысоковакуумными установками. Сильфоны в стандартной комплектации изготовлены из нержавеющей стали 316L и обеспечивают минимальный расчетный срок службы 10 000 циклов. Доступны заказные устройства с расчетным сроком службы до 3 миллионов циклов. Каждое устройство может поставляться с цифровой линейной шкалой, обеспечивающей визуальную индикацию положения с разрешением 10 мкм.

Основные особенности

• 2-кратное улучшение параллельности фланцев по сравнению с обычными конструкциями
• 2-кратное увеличение переносимой нагрузки по сравнению с обычными конструкциями
• Высокая плавность перемещения
• Пожизненная гарантия на 10 000 циклов (опционально на 3 миллиона циклов)
• Съемная сборка сильфона
• Надежная и жесткая конструкция
• Отжиг при температуре 250°C

Компактная серия линейного перемещения CLSM
Компактная серия CLSM предлагает самый короткое расстояние от подвижного фланца до перемещающегося фланца. Доступны различные варианты привода: с помощью ручного маховика, пневмоцилиндра, двигателя постоянного тока или шагового двигателя.

Стандартная серия линейного перемещения LSM/HLSM
Серия LSM — это наиболее полная серия типоразмеров в ассортименте, предлагающая наибольшее количество вариантов фланцев, длины хода и приводов. Фланцы CF38 и CF64 серии поставляются в стандартной комплектации с метрическими резьбовыми отверстиями для болтов.

Серия HLSM доступна в качестве альтернативы. Эта версия имеет свободные отверстия на монтажном фланце (фиксированном) и доступна с фланцами CF38, CF64, CF100 и CF150.

Серия линейного перемещения с интегрированным наклоном LSMT
Серия LSMT основана на стандартных устройствах LSM с дополнительной возможностью наклона подвижного фланца на +/- 2° для окончательного выравнивания портов. Обычно используется в лучевых системах для выравнивания датчиков диагностики или для выравнивания источников ионов. Регулировка осуществляется с помощью четырех резьбовых опорных валов. Все фланцы серии в стандартной комплектации поставляются с резьбовыми отверстиями для болтов на базовом фланце.

Серия линейного перемещения с интегрированным смещением поперек оси LSMX
Серия LSMX предлагает линейное перемещение вдоль оси порта (Z) с дополнительным устройством для регулировки перемещающегося фланца в боковом направлении (ось X) на +/-5 мм для облегчения выравнивания. Угол перемещаемого фланца остается постоянным на всем разбеге перемещения. Серия может оснащаться ручным маховиком, пневмоцилиндром, двигателем постоянного тока или шаговым двигателем.

Серия линейного перемещения с увеличенным ходом HLSML
Серия HLSML обеспечивает ход до 1000 мм (39 дюймов) с высокой точностью перемещения, поддерживаемой на протяжении всего хода. Данная серия также может использоваться для приложений, требующих максимальной стабильности и точности перемещения. Серия может приводиться в действие с помощью ручного маховика, двигателя постоянного тока или шагового двигателя. Моторизованные HLSML оснащены стойкими к вакуумному отжигу концевыми выключателями. Устройства HLSMLs совместимы с линейкой контроллеров SADC и шаговых двигателей UHV Design.

Высокоскоростная серия линейного перемещения PLSML
Серия PLSM разработана для решения самых сложных задач с повышенными требованиями к надежности и скорости перемещения. Сверхжесткая конструкция обеспечивает минимальный прогиб консоли (<1 мрад под нагрузкой), приводной механизм с линейными направляющими способен обеспечивать скорость перемещения до 100 мм/с, конструкция сильфонов гарантирует более чем 50 000 рабочих циклов (опционально 1 миллион циклов). Типичными применениями данной серии являются высокоскоростные сканеры и устройства промышленной автоматизации.