Высококачественные масс-спектрометры и системы на их основе

Серия RGA

Квадрупольные масс-спектрометры Hiden Analytical серии RGA представляют собой полнофункциональные приборы для общего применения и специальных приложений с повышенными требованиями.
Идеально подходят для анализа состава остаточных газов и поиска вакуумных течей, анализа газовыделения в вакуумных объемах (виртуальные течи/десорбция), исследования дегазации, оценки производительности вакуумных насосов, анализа загрязнений вакуумных объемов и состава примесей в газовых источниках, контроля вакуумного отжига и других технологических процессов.

В серию RGA входят приборы нескольких конструктивных исполнений:

HALO - для анализа остаточных газов

  • измеряемый диапазон масс 100, 200 и 300 аем, минимально детектируемое парциальное давление до 2х10-13 мбар
  • вакуумный снимок: сравнение и анализ содержания остаточных газов в вакуумных камерах
  • анализ трендов: отслеживание и протоколирование парциальных давлений в реальном времени
  • течеискание: газоанализаторы остаточных газов Hiden имеют превосходную чувствительность по гелию

HAL – для анализа остаточных газов в сверхвысоковакуумных установках

  • измеряемый диапазон масс 100, 200 и 300 аем, минимально детектируемое парциальное давление до 2х10-14 мбар
  • специальное компактное исполнение с повышенной чувствительностью и минимальной площадью поверхности прибора

3F – квадрупольный масс-спектрометр с тремя фильтрами для прецизионного анализа газов

  • измеряемый диапазон масс 50, 200, 300 и 500 аем, минимально детектируемое парциальное давление до 2х10-14 мбар
  • 3F технология с тремя фильтрами позволяет расширить исследуемый диапазон масс и разрешающую способность по массе, повысить чувствительность по тяжелым частицам, улучшить стойкость к загрязнению

3F – PIC - квадрупольный масс-спектрометр с тремя фильтрами и детектором ионов в счетном режиме для работы в системах, требующих регистрации быстрых процессов и/или повышенной чувствительности

  • измеряемый диапазон масс 50, 200, 300 и 500 аем, минимально детектируемое парциальное давление до 2х10-15 мбар
  • детектор ионов обеспечивает 7 порядков непрерывного динамического диапазона с возможностью аналитического расширения до 12 порядков

HAL 1001 – квадрупольный масс-спектрометр с тремя фильтрами и увеличенным диаметром стержней

  • версия с диапазоном 50 аем обеспечивает повышенную чувствительность и разрешение в области малых масс
  • версия с диапазоном 1000 аем предназначена для анализа тяжелых элементов

HMT – специальная серия для работы при повышенных давлениях без дифференциальной откачки

  • специальная конструкция масс-спектрометра обеспечивает надежную работу при давлениях до 5x10-3 мбар
  • применяется для анализа остаточных газов и мониторинга технологических процессов

Особенности работы серии RGA с программным обеспечением MASsoft

  • Система включает в себя предустановленные процедуры для анализа течей и трендов, получения гистограмм и профилей массовых пиков
  • Построение гистограмм спектров в любой области диапазона масс
  • Режим сканирования профилей масс с шагом до 0.01 аем на любом выбранном пользователем диапазоне масс
  • Вычитание фона, а также вычитание заданного спектра в реальном времени. Вычитание фона доступно в построении гистограмм, анализе трендов, режиме поиска течи и профилей пиков
  • Анализ трендов с возможностью вывода в реальном времени интенсивности пиков в табличном и графическом виде одновременно. Может быть запрограммировано до 100 массовых каналов
  • Каждый массовый канал при анализе трендов может иметь свои настройки масс-спектрометра для оптимизации данных по каждому газу
  • При анализе трендов каналы автоматически задаются простым выбором названий анализируемых веществ из встроенной библиотеки. Каналы могут быть заданы вручную вводом необходимого массового числа и названия
  • Интерфейс программы управления и передачи динамических данных совместим с приложениями Windows
  • Сканирование интенсивности регистрируемых ионов от энергии электронов в ионизаторе. Позволяет разделить появление одинаковых радикалов от разных молекул (при наличии опции управления источником ионов)
  • Смешанный режим сканирования. Редактируемый процесс сканирования позволяет настроить сбор данных и их одновременный вывод в различных окнах анализа трендов, профилей пиков, гистограмм
  • Автоматическая и диалоговая настройки всех параметров источника ионов (при наличии опции управления источником ионов)
  • Обзор и сравнение исторических данных синхронно с получаемыми данными в реальном времени
  • Экспорт данных в файлы, поддерживающие ASCII формат, и на Windows совместимые устройства вывода
  • Встроенные обработчики событий позволяют пользователю редактировать интерфейс передачи данных к другим интегрированным подсистемам

Технические характеристики

Серия

Диапазон масс (аем)

Тип детектора

Максимальное рабочее давление

Минимально детектируемое парциальное давление

Примечания по применению

HALO 100

100

Цилиндр Фарадея

1 x 10-4 мбар

1 x 10-11 мбар

RGA (анализ остаточных газов)

HALO 201

200, 300

Микроканальный электронный умножитель

1 x 10-4 мбар

2 x 10-13 мбар

RGA (анализ остаточных газов)

HAL 200

200

Цилиндр Фарадея

1 x 10-4 мбар

5 x 10-12 мбар

RGA (анализ остаточных газов в высоковакуумных установках)

HAL 201

100, 200, 300

Канальный электронный умножитель

1 x 10-4 мбар

2 x 10-14 мбар

RGA (анализ остаточных газов в высоковакуумных установках)

HAL 3F RC

50, 200, 300, 500

Канальный электронный умножитель

1 x 10-4 мбар

2 x 10-14 мбар

RGA (анализ остаточных газов)

HAL 3F PIC

50, 200, 300, 500

Канальный электронный умножитель в счетном режиме

5 x 10-6 мбар

(1 x 10-4 мбар с цилиндром Фарадея)

5 x 10-15 мбар

Высоковакуумная версия в счетном режиме регистрации для анализа быстрых процессов

HAL 1001-9 RC (9mm)

50, 300, 500, 1000

Канальный электронный умножитель

1 x 10-4 мбар

2 x 10-14 мбар

Версия с увеличенным диаметром электродов. Может быть настроена для улучшенного разрешения по массам или увеличенного диапазона анализируемых масс.

HMT 100

100

Цилиндр Фарадея

5 x 10-3 мбар

2 x 10-11 мбар

RGA (анализ остаточных газов)

HMT 101

100

Микроканальный электронный умножитель

5 x 10-3 мбар

2 x 10-13 мбар

RGA (анализ остаточных газов)

Скачать

Top