Серия RGA

Квадрупольные масс-спектрометры Hiden Analytical серии RGA представляют собой полнофункциональные приборы для общего применения и специальных приложений с повышенными требованиями.
Идеально подходят для анализа состава остаточных газов и поиска вакуумных течей, анализа газовыделения в вакуумных объемах (виртуальные течи/десорбция), исследования дегазации, оценки производительности вакуумных насосов, анализа загрязнений вакуумных объемов и состава примесей в газовых источниках, контроля вакуумного отжига и других технологических процессов.

В серию RGA входят приборы нескольких конструктивных исполнений:

HALO - для анализа остаточных газов

• измеряемый диапазон масс 100, 200 и 300 аем, минимально детектируемое парциальное давление до 2х10^-13 мбар
• вакуумный снимок: сравнение и анализ содержания остаточных газов в вакуумных камерах
• анализ трендов: отслеживание и протоколирование парциальных давлений в реальном времени
• течеискание: газоанализаторы остаточных газов Hiden имеют превосходную чувствительность по гелию

HAL – для анализа остаточных газов в сверхвысоковакуумных установках

• измеряемый диапазон масс 100, 200 и 300 аем, минимально детектируемое парциальное давление до 2х10^-14 мбар
• специальное компактное исполнение с повышенной чувствительностью и минимальной площадью поверхности прибора

3F – квадрупольный масс-спектрометр с тремя фильтрами для прецизионного анализа газов

• измеряемый диапазон масс 50, 200, 300 и 500 аем, минимально детектируемое парциальное давление до 2х10^-14 мбар
• 3F технология с тремя фильтрами позволяет расширить исследуемый диапазон масс и разрешающую способность по массе, повысить чувствительность по тяжелым частицам, улучшить стойкость к загрязнению

3F – PIC - квадрупольный масс-спектрометр с тремя фильтрами и детектором ионов в счетном режиме для работы в системах, требующих регистрации быстрых процессов и/или повышенной чувствительности

• измеряемый диапазон масс 50, 200, 300 и 500 аем, минимально детектируемое парциальное давление до 2х10^-15 мбар
• детектор ионов обеспечивает 7 порядков непрерывного динамического диапазона с возможностью аналитического расширения до 12 порядков

HAL 1001 – квадрупольный масс-спектрометр с тремя фильтрами и увеличенным диаметром стержней

• версия с диапазоном 50 аем обеспечивает повышенную чувствительность и разрешение в области малых масс
• версия с диапазоном 1000 аем предназначена для анализа тяжелых элементов

HMT – специальная серия для работы при повышенных давлениях без дифференциальной откачки

• специальная конструкция масс-спектрометра обеспечивает надежную работу при давлениях до 5x10^-3 мбар
• применяется для анализа остаточных газов и мониторинга технологических процессов

Особенности работы серии RGA с программным обеспечением MASsoft

• Система включает в себя предустановленные процедуры для анализа течей и трендов, получения гистограмм и профилей массовых пиков
• Построение гистограмм спектров в любой области диапазона масс
• Режим сканирования профилей масс с шагом до 0.01 аем на любом выбранном пользователем диапазоне масс
• Вычитание фона, а также вычитание заданного спектра в реальном времени. Вычитание фона доступно в построении гистограмм, анализе трендов, режиме поиска течи и профилей пиков
• Анализ трендов с возможностью вывода в реальном времени интенсивности пиков в табличном и графическом виде одновременно. Может быть запрограммировано до 100 массовых каналов
• Каждый массовый канал при анализе трендов может иметь свои настройки масс-спектрометра для оптимизации данных по каждому газу
• При анализе трендов каналы автоматически задаются простым выбором названий анализируемых веществ из встроенной библиотеки. Каналы могут быть заданы вручную вводом необходимого массового числа и названия
• Интерфейс программы управления и передачи динамических данных совместим с приложениями Windows
• Сканирование интенсивности регистрируемых ионов от энергии электронов в ионизаторе. Позволяет разделить появление одинаковых радикалов от разных молекул (при наличии опции управления источником ионов)
• Смешанный режим сканирования. Редактируемый процесс сканирования позволяет настроить сбор данных и их одновременный вывод в различных окнах анализа трендов, профилей пиков, гистограмм
• Автоматическая и диалоговая настройки всех параметров источника ионов (при наличии опции управления источником ионов)
• Обзор и сравнение исторических данных синхронно с получаемыми данными в реальном времени
• Экспорт данных в файлы, поддерживающие ASCII формат, и на Windows совместимые устройства вывода
• Встроенные обработчики событий позволяют пользователю редактировать интерфейс передачи данных к другим интегрированным подсистемам