Однокоординатный линейный привод LBS с сильфонным уплотнением задним опорным фланцем обеспечивает точное и плавное перемещение верхнего фланца в условиях сверхвысокого вакуума.
Серия LPABS является модификацией серии LBS с возможностью регулировки наклона подвижного фланца в пределах ±3°. Регулировка угла обеспечивается тремя подстроечными винтами.
Основные особенности
- Диапазон рабочих давлений: 1 бар ~ 10-11 мбар
- Максимальная температура отжига: 150 oC
- Материал сильфона: SS316L
- Верхний фланец: CF35 с резьбой
- Нижний фланец: CF35 со сквозным отверстием
- Регулировка угла наклона: ±3o (для модификации LPABS)
- Допустима установка в любом положении
- Возможна кастомизация привода по запросу клиента
Технические характеристики
|
Серия |
LBS |
LPABS |
||||||||
|
Монтажный фланец |
CF63 |
CF35 |
||||||||
|
Диаметр фланца (мм) |
114 |
114 |
||||||||
|
Ход (мм) |
50 |
100 |
150 |
100 |
150 |
|||||
|
Максимальное расстояние между фланцами (мм) |
161 |
213 |
281 |
234 |
302 |
|||||
|
Минимальное расстояние между фланцами (мм) |
111 |
113 |
131 |
134 |
152 |
|||||
|
Полная высота (мм) |
207 |
259 |
327 |
259 |
327 |
|||||
|
Привод |
Ручной |
Шаговый двигатель |
Ручной |
Шаговый двигатель |
Ручной |
Шаговый двигатель |
Ручной |
Шаговый двигатель |
Ручной |
Шаговый двигатель |
|
Точность перемещения (мм) |
1 |
0.005 |
1 |
0.005 |
1 |
0.005 |
1 |
0.005 |
1 |
0.005 |
|
Вес (кг) |
6.7 |
8.0 |
7.5 |
8.8 |
8.4 |
9.7 |
7.4 |
9.1 |
8.2 |
9.9 |
|
Модель |
LBS63L50M |
LBS63L50A |
LBS63L100M |
LBS63L100A |
LBS63L150M |
LBS63L150A |
LPABS63L100M |
LPABS63L100A |
LPABS63L150M |
LPABS63L150A |