Плазменные технологии

Плазмохимическое травление, осаждение, плазменно-стимулированное атомно-слоевое травление и осаждение
Ионно-лучевое травление и осаждение

Комплексные решения

Системы серии PlasmaPro обеспечивают комплексные решения для исследовательских лабораторий и организации серийного производства. Гибкая конфигурация оборудования позволяет выбрать оптимальный вариант исполнения для реализации процессов RIE, PECVD, ICP-RIE, ICP-CVD, комбинированных процессов плазменно-стимулированного осаждения из газовой фазы и термического осаждения из газовой фазы (PECVD-CVD, LPCVD). Основные модули платформ PlasmaPro 100, PlasmaPro 1000 могут использоваться как в качестве отдельной установки, так и в составе кластерной системы оборудования с установками FlexAl, Ionfab, Nanofab и другими модулями, совместимыми по стандарту MESC.

Our Exceptional Solutions Image

PlasmaPro 80
Исследования

Установки с непосредственной загрузкой подложек для исследовательских задач

Дополнительно
Our Exceptional Solutions Image

PlasmaPro 800
Производство и Исследования

Установки с непосредственной загрузкой подложек для производства и исследовательских задач

Дополнительно
Our Exceptional Solutions Image

PlasmaPro 100
Производство и Исследования

Установки со шлюзовой загрузки подложек для производства и исследовательских задач

Дополнительно
Our Exceptional Solutions Image

PlasmaPro 100 Estrelas
Производство и Исследования

Специализированная установка для глубокого травления кремния

Дополнительно
Our Exceptional Solutions Image

PlasmaPro 100 ALE
Исследования

Специализированная установка для атомно-слоевого травления

Дополнительно
Our Exceptional Solutions Image

Nanofab
Исследования и Производство

Специализированная установка получения наноструктур

Дополнительно
Our Exceptional Solutions Image

FlexAl
Исследования и Производство

Специализированная установка атомно-слоевого осаждения

Дополнительно
Our Exceptional Solutions Image

Ionfab 300
Исследования и Производство

Установка ионно-лучевого травления и осаждения

Дополнительно
Our Exceptional Solutions Image

PlasmaPro 1000
Производство

Производительная усановка со шлюзовой загрузкой

Дополнительно
Top